Абсталяванне для вакуумнага нанясення пакрыццяў звычайна складаецца з некалькіх ключавых кампанентаў, кожны з якіх мае сваю спецыфічную функцыю, што працуе разам для дасягнення эфектыўнага і раўнамернага нанясення плёнкі. Ніжэй прыведзена апісанне асноўных кампанентаў і іх функцый:
Асноўныя кампаненты
Вакуумная камера:
Функцыя: Забяспечвае асяроддзе нізкага ціску або высокага вакууму, каб прадухіліць рэакцыю пакрыцця з прымешкамі ў паветры падчас выпарэння або распылення, забяспечваючы чысціню і якасць плёнкі.
Структура: звычайна выраблена з высокатрывалай нержавеючай сталі або алюмінію, унутраная канструкцыя ўлічвае размеркаванне паветранага патоку і лёгкасць размяшчэння падкладкі.
Вакуумная помпавая сістэма:
Функцыя: Выкарыстоўваецца для адпампоўкі газу ўнутры вакуумнай камеры для дасягнення неабходнага ўзроўню вакууму.
Тыпы: у тым ліку механічныя помпы (напрыклад, ратацыйныя пласціністыя помпы), турбамалекулярныя помпы, дыфузійныя помпы і іённыя помпы.
Крыніца выпарэння або крыніца распылення:
Функцыя: награвае і выпарвае матэрыял пакрыцця з утварэннем пары або плазмы ў вакууме.
Тыпы: у тым ліку крыніца нагрэву рэзістыўным нагрэвам, крыніца электронна-прамянёвага выпарэння, крыніца магнетроннага распылення і крыніца лазернага выпарэння і г.д.
Трымальнік падкладкі і паваротны механізм:
Функцыя: Утрымлівае падкладку і забяспечвае раўнамернае нанясенне пакрыцця на паверхню падкладкі шляхам кручэння або ваганняў.
КАНСТРУКЦЫЯ: Звычайна ўключае рэгуляваныя заціскі і паваротныя/вагальныя механізмы для працы з падкладкамі розных формаў і памераў.
Сістэма электразабеспячэння і кіравання:
Функцыя: Забяспечвае харчаванне крыніцы выпарэння, крыніцы распылення і іншага абсталявання, а таксама кантралюе параметры ўсяго працэсу нанясення пакрыцця, такія як тэмпература, вакуум і час.
Камплектуючыя: Уключае блокі харчавання, панэлі кіравання, камп'ютарызаваныя сістэмы кіравання і датчыкі маніторынгу.
Сістэма падачы газу (для абсталявання для напылення):
Функцыя: Падача інертных газаў (напрыклад, аргону) або рэактыўных газаў (напрыклад, кіслароду, азоту) для падтрымання плазмы або для ўдзелу ў хімічнай рэакцыі з мэтай стварэння пэўнай тонкай плёнкі.
Камплектуючыя: Уключае газавыя балоны, рэгулятары патоку і трубаправоды падачы газу.
Сістэма астуджэння:
Функцыя: астуджае крыніцу выпарэння, крыніцу распылення і вакуумную камеру для прадухілення перагрэву.
Тыпы: уключаюць сістэмы вадзянога астуджэння і сістэмы паветранага астуджэння і г.д.
Сістэма маніторынгу і выяўлення:
Функцыя: Маніторынг ключавых параметраў працэсу нанясення пакрыцця ў рэжыме рэальнага часу, такіх як таўшчыня плёнкі, хуткасць нанясення, вакуум і тэмпература, для забеспячэння якасці пакрыцця.
Тыпы: у тым ліку мікравагавыя кварцавыя крышталі, аптычныя маніторы таўшчыні і аналізатары рэшткавага газу і г.д.
Ахоўныя прылады:
Функцыя: Забяспечвае бяспеку аператараў і абсталявання ад небяспек, выкліканых высокімі тэмпературамі, высокім напружаннем або вакуумным асяроддзем.
Камплектуючыя: Уключае ахоўныя прыстасаванні, кнопкі аварыйнага прыпынку і блакіроўкі бяспекі і г.д.
Падвядзіце вынік.
Абсталяванне для вакуумнага пакрыцця рэалізуе працэс нанясення высакаякасных тонкіх плёнак дзякуючы сінергічнаму ўздзеянню гэтых кампанентаў. Гэтыя машыны адыгрываюць жыццёва важную ролю ў падрыхтоўцы аптычных, электронных, дэкаратыўных і функцыянальных тонкіх плёнак.
–Гэты артыкул апублікаванывытворца вакуумных пакрыццяўГуандун Чжэньхуа
Час публікацыі: 23 ліпеня 2024 г.