Vakuum örtmə avadanlığı, adətən, hər birinin özünəməxsus funksiyası olan bir neçə əsas komponentdən ibarətdir ki, bu da səmərəli, vahid plyonka çöküntüsünə nail olmaq üçün birgə işləyir. Aşağıda əsas komponentlərin və onların funksiyalarının təsviri verilmişdir:
Əsas komponentlər
Vakuum kamerası:
Funksiya: Buxarlanma və ya püskürtmə zamanı örtük materialının havadakı çirklərlə reaksiya verməsinin qarşısını almaq üçün aşağı təzyiq və ya yüksək vakuum mühiti təmin edərək, filmin saflığını və keyfiyyətini təmin edir.
Struktur: Adətən yüksək dayanıqlı, paslanmayan poladdan və ya alüminiumdan hazırlanır, daxili dizayn hava axınının paylanmasını və substratın yerləşdirilməsinin asanlığını nəzərə alır.
Vakuum nasos sistemi:
Funksiya: Lazım olan vakuum səviyyəsinə çatmaq üçün vakuum kamerasının içindəki qazı çıxarmaq üçün istifadə olunur.
Növlər: O cümlədən mexaniki nasoslar (məsələn, fırlanan qanadlı nasoslar), turbomolekulyar nasoslar, diffuziya nasosları və ion nasosları.
Buxarlanma mənbəyi və ya püskürtmə mənbəyi:
Funksiya: vakuumda buxar və ya plazma yaratmaq üçün örtük materialını qızdırır və buxarlayır.
Növlər: müqavimətli istilik mənbəyi, elektron şüa buxarlanma mənbəyi, maqnetron püskürtmə mənbəyi və lazer buxarlanma mənbəyi və s.
Substrat tutucusu və fırlanan mexanizm:
Funksiya: Substratı tutur və fırlanma və ya salınma yolu ilə örtük materialının substratın səthində vahid çöküntüsünü təmin edir.
KONSTRUKSİYA: Tipik olaraq, müxtəlif formalı və ölçülü alt təbəqələri yerləşdirmək üçün tənzimlənən sıxaclar və fırlanan/salınan mexanizmlər daxildir.
Enerji təchizatı və idarəetmə sistemi:
Funksiya: Buxarlanma mənbəyini, püskürtmə mənbəyini və digər avadanlıqları enerji ilə təmin edir və temperatur, vakuum və vaxt kimi ümumi örtük prosesinin parametrlərinə nəzarət edir.
Komponentlər: Enerji təchizatı, idarəetmə panelləri, kompüterləşdirilmiş idarəetmə sistemləri və monitorinq sensorları daxildir.
Qaz Təchizatı Sistemi (püskürtmə örtmə avadanlığı üçün):
Funksiya: Plazmanı saxlamaq və ya xüsusi nazik təbəqə yaratmaq üçün kimyəvi reaksiyada iştirak etmək üçün inert qazlar (məsələn, arqon) və ya reaktiv qazlar (məsələn, oksigen, azot) verir.
Komponentlər: Qaz silindrləri, axın tənzimləyiciləri və qaz ötürmə boru kəmərləri daxildir.
Soyutma sistemi:
Funksiya: həddindən artıq istiləşmənin qarşısını almaq üçün buxarlanma mənbəyini, püskürtmə mənbəyini və vakuum kamerasını soyuyur.
Növlər: su soyutma sistemləri və hava soyutma sistemləri və s.
Monitorinq və aşkarlama sistemi:
Funksiya: örtük keyfiyyətini təmin etmək üçün örtük prosesində film qalınlığı, çökmə sürəti, vakuum və temperatur kimi əsas parametrlərin real vaxt rejimində monitorinqi.
Növlər: o cümlədən kvars kristal mikrobalans, optik qalınlıq monitoru və qalıq qaz analizatoru və s.
Qoruyucu cihazlar:
Funksiya: Operatorların və avadanlıqların yüksək temperatur, yüksək gərginlik və ya vakuum mühitinin yaratdığı təhlükələrdən təhlükəsizliyini təmin edir.
Komponentlər: Mühafizəçilər, təcili dayandırma düymələri və təhlükəsizlik kilidləri və s. daxildir.
Ümumiləşdirin.
Vakuum örtük avadanlığı bu komponentlərin sinergik işi sayəsində yüksək keyfiyyətli nazik təbəqələrin çökdürülməsi prosesini həyata keçirir. Bu maşınlar optik, elektron, dekorativ və funksional nazik təbəqələrin hazırlanmasında mühüm rol oynayır.
- Bu məqalə nəşr olunurvakuum örtük maşın istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Göndərmə vaxtı: 23 iyul 2024-cü il