المعدات طلاء الفراغتتكون من أجزاء دقيقة عديدة، تُصنع من خلال عمليات متعددة، مثل اللحام، والطحن، والخراطة، والتسوية، والتثقيب، والطحن، وغيرها. نتيجةً لهذه العمليات، ستتلوث أسطح أجزاء المعدات حتمًا ببعض الملوثات، مثل الشحوم، وأوساخ الزيت، وشظايا المعادن، وتدفق اللحام، ومعجون التلميع، وآثار العرق، وغيرها. هذه الملوثات سهلة التطاير في ظروف الفراغ، مما يؤثر على الفراغ النهائي للمعدات.
بالإضافة إلى ذلك، تمتص هذه الملوثات الفراغية الناتجة عن المعالجة الميكانيكية كميات كبيرة من الغاز في بيئة الضغط الجوي، وفي حالة الفراغ، تُطلق هذه الغازات الممتصة سابقًا مرة أخرى، مما يُمثل عاملًا رئيسيًا في الحد الأقصى للفراغ. لذلك، يجب إزالة الملوثات قبل تجميع أجزاء آلة طلاء الفراغ.
أثناء استخدام معدات التفريغ، قد تتعرض مكوناتها للتلوث أيضًا. إلا أن التلوث الناتج عن هذا المصدر يعود أساسًا إلى ظروف الاستخدام ومضخة التفريغ.
1. سيؤدي تبخر خيوط مقياس الفراغ في ظل ظروف درجات الحرارة العالية إلى تكوين فيلم على العازل الخزفي، مما سيؤدي إلى إتلاف قوة عزله إلى حد ما، كما سيكون له تأثير معين على دقة قياسه؛
2. بسبب التبخر بدرجة حرارة عالية، سيتم تشكيل فيلم معدني على السطح بالقرب من خيوط مسدس الإلكترون في الفراغ؛
3. بسبب رش قطعة العمل، سوف يتلوث الجدار الداخلي لمعدات النقش بحزمة الأيونات بالرذاذ؛
4. سوف يكون الجدار الداخلي لمعدات طلاء التبخر الفراغي ملوثًا بمادة هدف التبخر الخاصة به؛
5. يتم استخدام نظام التجفيف بالتفريغ في كثير من الأحيان، وسوف يكون النظام ملوثًا بالمواد المتبخرة؛
٦. يُعد زيت مضخة الانتشار وزيت المضخة الميكانيكية في معدات الطلاء الفراغي مصدرًا رئيسيًا للتلوث. بعد تشغيل آلة الطلاء لفترة طويلة، قد تتكون طبقة زيتية داخل المعدات.
باختصار، تشمل عملية تطهير المعدات الفراغية معدات التفريغ، ونظام التفريغ، وإنتاج عملية التفريغ، وجوانب وروابط أخرى، بالإضافة إلى متطلبات معدات الطلاء الفراغي نفسها، وعملية التفريغ الخاصة، وظروف الاستخدام. لذلك، يُعد تلوث التفريغ مشكلة تستحق الاهتمام، إذ يؤثر على أداء المعدات، لذا يجب الاهتمام بالتنظيف الدوري أو الدوري.
وقت النشر: ٢١ فبراير ٢٠٢٣