يمكن تبخير معظم العناصر الكيميائية بدمجها مع مجموعات كيميائية، على سبيل المثال، يتفاعل السيليكون مع الهيدروجين لتكوين SiH4، ويتحد الألومنيوم مع CH3 لتكوين Al(CH3). في عملية الترسيب الكيميائي البخاري الحراري، تمتص الغازات المذكورة أعلاه كمية معينة من الطاقة الحرارية أثناء مرورها عبر الركيزة الساخنة، مُشكلةً مجموعات تفاعلية، مثل CH3 وAL(CH3)2، إلخ. ثم تتحد هذه الغازات مع بعضها البعض لتكوين المجموعات التفاعلية، التي تترسب بدورها على الركيزة. بعد ذلك، تتحد هذه الغازات مع بعضها البعض وترسب على شكل أغشية رقيقة. في حالة الترسيب الكيميائي البخاري البخاري، يوفر تصادم الإلكترونات والجسيمات النشطة وجزيئات الطور الغازي في البلازما طاقة التنشيط اللازمة لتكوين هذه المجموعات الكيميائية التفاعلية.
تتمثل مزايا PECVD بشكل رئيسي في الجوانب التالية:
(1) درجة حرارة عملية أقل مقارنة بالترسيب الكيميائي للبخار التقليدي، والذي يرجع أساسًا إلى تنشيط البلازما للجسيمات التفاعلية بدلاً من التنشيط الحراري التقليدي؛
(2) نفس تقنية الترسيب الكيميائي البخاري التقليدية، طلاء جيد حول طبقة الفيلم؛
(3) يمكن التحكم في تكوين طبقة الفيلم بشكل تعسفي إلى حد كبير، مما يجعل من السهل الحصول على أفلام متعددة الطبقات؛
(4) يمكن التحكم في ضغط الفيلم بواسطة تقنية الخلط بين التردد العالي والمنخفض.
-تم نشر هذه المقالة بواسطةمُصنِّع آلات طلاء الفراغقوانغدونغ تشنهوا
وقت النشر: ١٨ أبريل ٢٠٢٤