يختلف معامل مقاومة الغشاء المعدني الحراري باختلاف سُمك الغشاء، فالأغشية الرقيقة سالبة، والأغشية السميكة موجبة، والأغشية السميكة متشابهة مع المواد السائبة، ولكنها ليست متطابقة. بشكل عام، يتغير معامل مقاومة الغشاء الحراري من سالب إلى موجب مع زيادة سُمك الغشاء إلى عشرات النانومترات.
بالإضافة إلى ذلك، يؤثر معدل التبخر أيضًا على معامل درجة الحرارة المقاومة للأغشية المعدنية. معدل التبخر المنخفض الذي أعدته طبقة الفيلم يكون فضفاضًا، والإلكترونات عبر حاجز الجهد والقدرة على إنتاج الموصلية ضعيفة، إلى جانب الأكسدة والامتصاص، وبالتالي تكون قيمة المقاومة عالية، ومعامل درجة حرارة المقاومة صغير، أو حتى سلبي، مع زيادة معدل التبخر، يتغير معامل درجة حرارة المقاومة للمقاومة قليلاً من كبير، من سلبي إلى إيجابي. ويرجع ذلك إلى انخفاض معدل التبخر للفيلم المحضر بسبب أكسدة خصائص أشباه الموصلات، ومعامل درجة حرارة المقاومة للقيم السلبية. تميل الأفلام المحضرة بمعدل تبخر مرتفع إلى أن يكون لها خصائص معدنية ولها معامل درجة حرارة مقاومة إيجابي.
بما أن بنية الغشاء تتغير بشكل لا رجعة فيه مع درجة الحرارة، فإن مقاومته ومعامل درجة حرارته يتغيران أيضًا مع درجة حرارة طبقة الطلاء أثناء التبخر، وكلما كان الغشاء أرق، كان التغيير أشد. يمكن تفسير ذلك بالتغيرات الكيميائية الناتجة عن إعادة التبخر وإعادة توزيع جزيئات الغشاء ذي البنية التقريبية للجزيرة أو الأنبوب على الركيزة، بالإضافة إلى تشتت الشبكة، وتشتت الشوائب، وتشتت عيوب الشبكة، والأكسدة.
-تم نشر هذه المقالة بواسطةتصنيع آلة طلاء الفراغص قوانغدونغ تشنهوا
وقت النشر: ١٨ يناير ٢٠٢٤