تتكون معدات الطلاء الفراغي عادةً من عدة مكونات رئيسية، لكل منها وظيفة محددة، تعمل بتناغم لتحقيق ترسيب غشاء فعال وموحد. فيما يلي وصف للمكونات الرئيسية ووظائفها:
المكونات الرئيسية
غرفة التفريغ:
الوظيفة: توفر بيئة منخفضة الضغط أو عالية الفراغ لمنع مادة الطلاء من التفاعل مع الشوائب المحمولة جواً أثناء التبخر أو الرش، مما يضمن نقاء وجودة الفيلم.
الهيكل: عادة ما يكون مصنوعًا من الفولاذ المقاوم للصدأ أو الألومنيوم عالي القوة، ويأخذ التصميم الداخلي في الاعتبار توزيع تدفق الهواء وسهولة وضع الركيزة.
نظام مضخة التفريغ:
الوظيفة: تستخدم لضخ الغاز داخل غرفة التفريغ لتحقيق مستوى التفريغ المطلوب.
الأنواع: بما في ذلك المضخات الميكانيكية (على سبيل المثال مضخات الريشة الدوارة)، والمضخات التوربينية الجزيئية، ومضخات الانتشار ومضخات الأيونات.
مصدر التبخر أو مصدر الرش:
الوظيفة: تسخين وتبخير مادة الطلاء لتشكيل بخار أو بلازما في الفراغ.
الأنواع: بما في ذلك مصدر التسخين بالمقاومة، ومصدر تبخر شعاع الإلكترون، ومصدر الرش المغناطيسي، ومصدر تبخر الليزر، وما إلى ذلك.
حامل الركيزة وآلية الدوران:
الوظيفة: تثبيت الركيزة وضمان ترسب موحد لمادة الطلاء على سطح الركيزة عن طريق الدوران أو التذبذب.
البناء: يتضمن عادةً المشابك القابلة للتعديل وآليات الدوران/التذبذب لاستيعاب ركائز ذات أشكال وأحجام مختلفة.
نظام إمداد الطاقة والتحكم:
الوظيفة: توفير الطاقة لمصدر التبخر ومصدر الرش والمعدات الأخرى، والتحكم في معلمات عملية الطلاء الشاملة مثل درجة الحرارة والفراغ والوقت.
المكونات: تتضمن مصادر الطاقة، ولوحات التحكم، وأنظمة التحكم المحوسبة، وأجهزة استشعار المراقبة.
نظام إمداد الغاز (لمعدات طلاء الرش):
الوظيفة: توفير الغازات الخاملة (مثل الأرجون) أو الغازات التفاعلية (مثل الأكسجين والنيتروجين) للحفاظ على البلازما أو المشاركة في تفاعل كيميائي لتوليد طبقة رقيقة محددة.
المكونات: تتضمن أسطوانات الغاز، ووحدات التحكم في التدفق، وأنابيب توصيل الغاز.
نظام التبريد:
الوظيفة: تبريد مصدر التبخر ومصدر الرش وغرفة التفريغ لمنع ارتفاع درجة الحرارة.
الأنواع: تشمل أنظمة التبريد المائي وأنظمة التبريد الهوائي وما إلى ذلك.
نظام المراقبة والكشف:
الوظيفة: مراقبة المعلمات الرئيسية في عملية الطلاء في الوقت الحقيقي، مثل سمك الفيلم، ومعدل الترسيب، والفراغ ودرجة الحرارة، لضمان جودة الطلاء.
الأنواع: بما في ذلك ميزان بلوري كوارتز، وجهاز مراقبة السُمك البصري، ومحلل الغاز المتبقي، وما إلى ذلك.
الأجهزة الوقائية:
الوظيفة: ضمان سلامة المشغلين والمعدات من المخاطر الناجمة عن درجات الحرارة العالية أو الجهد العالي أو البيئات الفراغية.
المكونات: تتضمن الحراس وأزرار التوقف في حالات الطوارئ وأقفال الأمان وما إلى ذلك.
تلخيص.
تُحقق معدات الطلاء الفراغي عملية ترسيب أغشية رقيقة عالية الجودة من خلال العمل التآزري لهذه المكونات. تلعب هذه الآلات دورًا حيويًا في تحضير الأغشية الرقيقة البصرية والإلكترونية والزخرفية والوظيفية.
-تم نشر هذه المقالة بواسطةمُصنِّع آلات طلاء الفراغقوانغدونغ تشنهوا
وقت النشر: ٢٣ يوليو ٢٠٢٤