የፕላዝማ የተሻሻለ የኬሚካል ትነት ክምችት ምዕራፍ 2

አብዛኛዎቹ የኬሚካል ንጥረ ነገሮች ከኬሚካላዊ ቡድኖች ጋር በማጣመር በትነት ሊሆኑ ይችላሉ፣ ለምሳሌ ሲ ከH ጋር ምላሽ ሲሰጥ SiH4፣ እና Al ከ CH3 ጋር በማጣመር አል(CH3) ይፈጥራል። በቴርማል ሲቪዲ ሂደት ውስጥ ከላይ ያሉት ጋዞች በሙቀት አማቂው ክፍል ውስጥ በማለፍ እንደ CH3 እና AL(CH3)2 እና ሌሎችም ያሉ ምላሽ ሰጪ ቡድኖችን ሲፈጥሩ የተወሰነ መጠን ያለው የሙቀት ሃይል ይወስዳሉ። በመቀጠልም እርስ በርስ ይዋሃዳሉ እና እንደ ቀጭን ፊልም ይቀመጣሉ. በፔኢሲቪዲ ሁኔታ በፕላዝማ ውስጥ የኤሌክትሮኖች ፣ የኢነርጂ ቅንጣቶች እና የጋዝ-ደረጃ ሞለኪውሎች ግጭት እነዚህን ምላሽ ሰጪ ኬሚካዊ ቡድኖች ለመመስረት የሚያስፈልገውን የማግበር ኃይል ይሰጣል ።

የ PECVD ጥቅሞች በዋናነት በሚከተሉት ገጽታዎች ውስጥ ናቸው.

(1) ከተለመዱት የኬሚካል ትነት ማጠራቀሚያዎች ጋር ሲነፃፀር ዝቅተኛ የሂደት ሙቀት, ይህም በዋነኝነት በፕላዝማ ማግበር ምክንያት በተለመደው የሙቀት ማሞቂያ ምትክ ምላሽ ሰጪ ቅንጣቶች;

(2) ልክ እንደ ተለመደው ሲቪዲ ፣ የፊልም ንብርብር በጥሩ ሁኔታ መጠቅለል;

(3) የፊልም ንብርብር ስብጥር በዘፈቀደ በከፍተኛ መጠን ቁጥጥር ሊደረግበት ይችላል, ይህም ብዙ ፊልም ለማግኘት ቀላል ያደርገዋል;

(4) የፊልም ጭንቀት በከፍተኛ/ዝቅተኛ ድግግሞሽ ድብልቅ ቴክኖሎጂ ሊቆጣጠር ይችላል።

- ይህ ጽሑፍ የተለቀቀው በየቫኩም ሽፋን ማሽን አምራችጓንግዶንግ ዠንዋ