የቫኩም ሽፋን መሳሪያዎች አካላት

የቫኩም መሸፈኛ መሳሪያዎች ብዙ ቁልፍ አካላትን ያቀፈ ነው፣ እያንዳንዱም የራሱ የሆነ ተግባር ያለው፣ ቀልጣፋ እና ወጥ የሆነ የፊልም አቀማመጥን ለማግኘት በጋራ የሚሰሩ። ከዚህ በታች የዋና ዋና አካላት እና ተግባሮቻቸው መግለጫ ነው-

ዋና ክፍሎች
የቫኩም ክፍል;
ተግባር፡- የንፅህና እና የፊልሙን ጥራት በማረጋገጥ የሽፋኑ ቁሳቁስ በአየር ወለድ ቆሻሻዎች እንዳይሰራ ለመከላከል ዝቅተኛ ግፊት ወይም ከፍተኛ የቫኩም አካባቢን ይሰጣል።
መዋቅር: ብዙውን ጊዜ ከከፍተኛ ጥንካሬ, ከማይዝግ ብረት ወይም ከአሉሚኒየም የተሰራ, የውስጥ ዲዛይኑ የአየር ፍሰት ስርጭትን እና የንጥረትን አቀማመጥ ቀላልነት ግምት ውስጥ ያስገባል.
የቫኩም ፓምፕ ስርዓት;
ተግባር: አስፈላጊውን የቫኩም ደረጃ ለመድረስ በቫኩም ክፍል ውስጥ ያለውን ጋዝ ለማውጣት ያገለግላል.
ዓይነቶች፡- ሜካኒካል ፓምፖችን (ለምሳሌ ሮታሪ ቫን ፓምፖች)፣ ቱርቦሞለኩላር ፓምፖችን፣ የማሰራጫ ፓምፖችን እና ion ፓምፖችን ጨምሮ።
የትነት ምንጭ ወይም የሚተነፍሰው ምንጭ፡-
ተግባር፡- በቫኩም ውስጥ ተን ወይም ፕላዝማ ለመፍጠር የሽፋኑን ቁሳቁስ ያሞቃል እና ይተናል።
ዓይነቶች: የመቋቋም ማሞቂያ ምንጭ, የኤሌክትሮን ጨረር ትነት ምንጭ, ማግኔትሮን sputtering ምንጭ እና የሌዘር ትነት ምንጭ, ወዘተ ጨምሮ.
የከርሰ ምድር መያዣ እና የሚሽከረከር ዘዴ;
ተግባር: ንጣፉን ይይዛል እና የሽፋን ቁሳቁሶችን በማሽከርከር ወይም በማወዛወዝ በንጣፉ ወለል ላይ አንድ ወጥ የሆነ ማስቀመጥን ያረጋግጣል.
ግንባታ፡-በተለይ የሚስተካከሉ መቆንጠጫዎችን እና የሚሽከረከሩ/የሚወዛወዙ ስልቶችን ያካትታል የተለያዩ ቅርጾች እና መጠኖች substrates.
የኃይል አቅርቦት እና ቁጥጥር ስርዓት;
ተግባር፡- ለትነት ምንጭ፣ የሚረጭ ምንጭ እና ሌሎች መሳሪያዎች ኃይልን ይሰጣል፣ እና እንደ ሙቀት፣ ቫክዩም እና ጊዜ ያሉ የአጠቃላይ ሽፋን ሂደት መለኪያዎችን ይቆጣጠራል።
አካላት፡- የኃይል አቅርቦቶችን፣ የቁጥጥር ፓነሎችን፣ የኮምፒዩተራይዝድ ቁጥጥር ስርዓቶችን እና የክትትል ዳሳሾችን ያካትታል።
የጋዝ አቅርቦት ስርዓት (ለስላሳ ማቀፊያ መሳሪያዎች)
ተግባር፡- ፕላዝማን ለመጠበቅ ወይም የተለየ ቀጭን ፊልም ለማመንጨት በኬሚካላዊ ምላሽ ውስጥ ለመሳተፍ የማይነቃቁ ጋዞችን (ለምሳሌ፡ argon) ወይም ምላሽ ሰጪ ጋዞችን (ለምሳሌ፡ ኦክስጅን፣ ናይትሮጅን) ያቀርባል።
አካላት፡- የጋዝ ሲሊንደሮችን፣ የፍሰት መቆጣጠሪያዎችን እና የጋዝ ማስተላለፊያ ቧንቧዎችን ያካትታል።
የማቀዝቀዝ ስርዓት;
ተግባር፡ የትነት ምንጭን ያቀዘቅዛል፣ የሚረጭ ምንጭ እና የቫኩም ክፍል ሙቀትን ለመከላከል።
ዓይነቶች: የውሃ ማቀዝቀዣ ዘዴዎችን እና የአየር ማቀዝቀዣ ዘዴዎችን, ወዘተ.
የክትትል እና የማወቅ ስርዓት;
ተግባር፡ የሽፋኑን ጥራት ለማረጋገጥ እንደ የፊልም ውፍረት፣ የማስቀመጫ መጠን፣ የቫኩም እና የሙቀት መጠን ያሉ በሽፋን ሂደት ውስጥ ያሉ ቁልፍ መለኪያዎችን በቅጽበት መከታተል።
ዓይነቶች፡ የኳርትዝ ክሪስታል ማይክሮሚልሽን፣ የኦፕቲካል ውፍረት ማሳያ እና ቀሪ ጋዝ ተንታኝ ወዘተ ጨምሮ።
መከላከያ መሳሪያዎች፡-
ተግባር፡ የኦፕሬተሮችን እና የመሳሪያዎችን ደህንነት በከፍተኛ ሙቀት፣ ከፍተኛ ቮልቴጅ ወይም በቫኩም አከባቢ ምክንያት ከሚመጡ አደጋዎች ያረጋግጣል።
አካሎች፡ ጠባቂዎች፣ የአደጋ ጊዜ ማቆሚያ ቁልፎች እና የደህንነት ጥልፍልፍ ወዘተ ያካትታል።
ማጠቃለል።
የቫኩም መሸፈኛ መሳሪያዎች ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን ስስ ፊልሞችን የማስቀመጥ ሂደትን ይገነዘባሉ የእነዚህ ክፍሎች ውህድ ስራ. እነዚህ ማሽኖች ኦፕቲካል፣ ኤሌክትሮኒክስ፣ ጌጣጌጥ እና ተግባራዊ ቀጭን ፊልሞችን በማዘጋጀት ረገድ ወሳኝ ሚና ይጫወታሉ።

- ይህ ጽሑፍ የተለቀቀው በየቫኩም ሽፋን ማሽን አምራችጓንግዶንግ ዠንዋ