Dievakuumbedekkingstoerustingis saamgestel uit baie presiese dele, wat deur baie prosesse vervaardig word, soos sweiswerk, slypwerk, draaiwerk, skaafwerk, boorwerk, freeswerk, ensovoorts. As gevolg van hierdie werke sal die oppervlak van toerustingonderdele onvermydelik besoedel word met besoedelingstowwe soos vet, olievuilgoed, metaalskyfies, sweisvloeistof, poleerpasta, sweetmerke, ensovoorts. Hierdie besoedelingstowwe verdamp maklik onder vakuumtoestande, wat die uiteindelike vakuum van die toerusting beïnvloed.
Daarbenewens absorbeer hierdie vakuumbesoedelingstowwe van meganiese verwerking 'n groot hoeveelheid gas in die atmosferiese drukomgewing, en in die vakuumtoestand sal hierdie voorheen geadsorbeerde gasse ook weer vrygestel word, wat 'n belangrike faktor word wat die limietvakuum beperk. Om hierdie rede moet die besoedelingstowwe verwyder word voordat die dele van die vakuumbedekkingsmasjien aanmekaargesit word.
Tydens die gebruik van vakuumtoerusting sal die komponente daarvan ook besoedel word. Die besoedeling van hierdie bron word egter hoofsaaklik veroorsaak deur die gebruiksomstandighede en die vakuumpomp.
1. Die verdamping van die filament van die vakuummeter onder hoë temperatuurtoestande sal lei tot die vorming van 'n film op die keramiek-isolator, wat die isolasiesterkte tot 'n sekere mate sal beskadig, en ook 'n sekere impak op die akkuraatheid van die meting sal hê;
2. As gevolg van hoë temperatuurverdamping, sal 'n metaalfilm op die oppervlak naby die filament van die elektrongeweer in vakuum gevorm word;
3. As gevolg van werkstukverstuiwing, sal die binnewand van ioonstraal-etsapparatuur deur spatsels besoedel word;
4. Die binnewand van die vakuumverdampingsbedekkingstoerusting sal deur die verdampingsdoelmateriaal besoedel word;
5. Vakuumdroogstelsel word dikwels gebruik, en die stelsel sal deur die verdampte stowwe besoedel word;
6. Die diffusiepompolie en meganiese pompolie in die vakuumbedekkingstoerusting is ook 'n belangrike bron van besoedeling. Nadat die bedekkingsmasjien vir 'n lang tyd gewerk het, kan 'n oliefilm binne die toerusting vorm.
Opsommend behels die vakuumsanitasie van toerusting die vakuumtoerusting, vakuumstelsel, vakuumprosesproduksie en ander aspekte en skakels, sowel as die vereistes van die vakuumbedekkingstoerusting self en spesiale vakuumprosesse vir die gebruiksomstandighede. Daarom is vakuumbesoedeling 'n probleem wat aandag verdien, want hierdie besoedeling sal die werkverrigting van die toerusting beïnvloed, en aandag moet gegee word aan gereelde of te alle tye skoonmaak.
Plasingstyd: 21 Februarie 2023