Die temperatuurkoëffisiënt van die metaalfilmweerstand wissel met die filmdikte, dun films is negatief, dik films is positief, en dikker films is soortgelyk, maar nie identies aan grootmaatmateriale nie. Oor die algemeen verander die temperatuurkoëffisiënt van negatief na positief soos die filmdikte toeneem tot tiene nanometers.
Daarbenewens beïnvloed die verdampingstempo ook die weerstandstemperatuurkoëffisiënt van metaalfilms. Die lae verdampingstempo wat deur die filmlaag voorberei word, is los, die elektrone oor die potensiële versperring en die vermoë om geleidingsvermoë te produseer is swak, tesame met oksidasie en adsorpsie, dus is die weerstandswaarde hoog, die weerstandstemperatuurkoëffisiënt is klein, of selfs negatief, met die toename in die verdampingstempo, die weerstandstemperatuurkoëffisiënt van die weerstand van 'n klein verandering van groot, van negatief na positief. Dit is as gevolg van die lae verdampingstempo van die film wat voorberei word as gevolg van die oksidasie van die halfgeleier-eienskappe, weerstandstemperatuurkoëffisiënt van negatiewe waardes. Die films wat voorberei word met 'n hoë verdampingstempo is geneig om metaaleienskappe te hê en 'n positiewe weerstandstemperatuurkoëffisiënt te hê.
Aangesien die struktuur van die film onomkeerbaar met temperatuur verander, verander die weerstand en weerstandstemperatuurkoëffisiënt van die film ook met die temperatuur van die deklaag tydens verdamping, en hoe dunner die film, hoe meer drasties die verandering. Dit kan beskou word as 'n gevolg van die chemiese veranderinge wat veroorsaak word deur herverdamping en herverdeling van deeltjies van die benaderde eiland- of buisvormige struktuurfilm op die substraat, sowel as roosterverstrooiing, onsuiwerheidsverstrooiing, verstrooiing van roosterdefekte en oksidasie.
–Hierdie artikel word vrygestel deurvervaardiging van vakuumbedekkingsmasjiener Guangdong Zhenhua
Plasingstyd: 18 Januarie 2024