Thiết bị này tích hợp công nghệ lắng đọng phún xạ magnetron và công nghệ bay hơi điện trở, cung cấp giải pháp phủ lớp lên nhiều loại chất nền khác nhau.
Thiết bị phủ màng thí nghiệm chủ yếu được sử dụng trong các trường đại học và viện nghiên cứu khoa học, đáp ứng nhiều yêu cầu thí nghiệm khác nhau. Thiết bị có nhiều cấu hình mục tiêu khác nhau, có thể được cấu hình linh hoạt để đáp ứng nhu cầu nghiên cứu và phát triển khoa học trong các lĩnh vực khác nhau. Có thể lựa chọn hệ thống lắng đọng phún xạ magnetron, hệ thống hồ quang catốt, hệ thống bay hơi chùm electron, hệ thống bay hơi điện trở, CVD, PECVD, nguồn ion, hệ thống phân cực, hệ thống gia nhiệt, giá đỡ ba chiều, v.v. Khách hàng có thể lựa chọn theo nhu cầu khác nhau của mình.
Thiết bị này có những đặc điểm như ngoại hình đẹp, cấu trúc nhỏ gọn, diện tích chiếm dụng ít, mức độ tự động hóa cao, vận hành đơn giản và linh hoạt, hiệu suất ổn định và dễ bảo trì.
Thiết bị này có thể được ứng dụng cho nhựa, thép không gỉ, các bộ phận phần cứng/nhựa mạ điện, thủy tinh, gốm sứ và các vật liệu khác. Có thể tạo ra các lớp kim loại đơn giản như titan, crom, bạc, đồng, nhôm hoặc các màng hợp chất kim loại như TiN/TiCN/TiC/TiO2/TiAlN/CrN/ZrN/CrC.
| ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
| φ500*H600(mm) | φ600*H800(mm) | φ800*H1000(mm) |