Thiết bị làm sạch plasma chân không sử dụng cấu trúc tích hợp, được trang bị hệ thống làm sạch ion RF, điều khiển hoàn toàn tự động, vận hành và bảo trì thuận tiện.
Máy phát tần số cao RF có thể tạo ra plasma mật độ cao, kích hoạt, khắc và tro hóa bề mặt phôi, loại bỏ hiệu quả bụi bẩn và dầu mỡ trên bề mặt sản phẩm, giải phóng ứng suất bề mặt và đạt được nhiều sửa đổi khác nhau trên bề mặt phôi.
Có thể áp dụng cho cao su, thủy tinh, gốm sứ, kim loại và các sản phẩm khác, cũng như cho vi điện tử, LCD, LED, LCM, bảng mạch PCB, bao bì bán dẫn, thiết bị y tế, thí nghiệm khoa học sự sống và các lĩnh vực khác.