Phủ bốc hơi chân không (gọi tắt là lớp phủ bốc hơi) là trong môi trường chân không, vật liệu màng được làm nóng bằng máy bốc hơi để làm khí hóa, vật liệu màng bốc hơi của dòng hạt trực tiếp đến chất nền và lắng đọng chất nền, hình thành công nghệ màng rắn. Bốc hơi chân không là công nghệ PVD trong quá trình phát triển sớm nhất, công nghệ màng đô thị được sử dụng rộng rãi hơn, mặc dù sau này phát triển về phương pháp phun và mạ ion ở nhiều khía cạnh hơn so với bốc hơi chân không, nhưng công nghệ màng đô thị bốc hơi chân không vẫn có rất nhiều ưu điểm, chẳng hạn như thiết bị và quy trình tương đối đơn giản, cả lắng đọng màng rất tinh khiết, nhưng cũng có thể được chuẩn bị với cấu trúc và tính chất cụ thể của lớp màng, v.v. Nhược điểm chính của phương pháp này là không dễ để có được màng có cấu trúc tinh thể, độ bám dính của màng trên chất nền nhỏ và khả năng lặp lại quy trình không đủ tốt.
Trong những năm gần đây, do bay hơi bắn phá electron, bay hơi cảm ứng tần số cao, cũng như bay hơi laser và các công nghệ khác trong công nghệ phủ bay hơi chân không trong ứng dụng chung của công nghệ, để công nghệ này hoàn thiện hơn và được sử dụng rộng rãi trong máy móc, chân không điện, vô tuyến, quang học, năng lượng nguyên tử để tìm thành phố.
Thời gian đăng: 17-08-2023