Вакуумне випаровування (або випаровування) відбувається у вакуумному середовищі, випарник нагріває плівковий матеріал для його газифікації, випаровує потік частинок плівкового матеріалу безпосередньо на підкладку та осаджує підкладку, утворюючи технологію твердої плівки. Вакуумне випаровування є технологією PVD у розвитку найдавнішої та найширше використовуваної технології нанесення плівкових покриттів, хоча пізніше розпилення та іонне покриття перевершують вакуумне випаровування в багатьох аспектах, але технологія нанесення плівкових покриттів вакуумним випаровуванням все ще має багато переваг, таких як відносно просте обладнання та процес, що дозволяє наносити дуже чисту плівку, але також можна отримати плівку зі специфічною структурою та властивостями шару тощо. Основними недоліками цього методу є те, що нелегко отримати плівки з кристалічною структурою, адгезія плівки до підкладки мала, а повторюваність процесу недостатня.
В останні роки, завдяки випаровуванню електронним бомбардуванням, високочастотному індукційному випаровуванню, а також лазерному випаровуванню та іншим технологіям у технології вакуумного випаровування покриттів у загальному застосуванні технології, ця технологія стала більш досконалою та широко використовується в машинобудуванні, електровакуумі, радіо, оптиці, атомній енергетиці для пошуку міста.
Час публікації: 17 серпня 2023 р.