ÜRÜN AÇIKLAMASI

Ekipman avantajı

1. Derin Delik Kaplama Optimizasyonu

Özel Derin Delik Kaplama Teknolojisi: Zhenhua Vacuum'un kendi geliştirdiği derin delik kaplama teknolojisi, 30 mikron kadar küçük açıklıklar için bile 10:1'lik üstün bir en boy oranına ulaşabilir ve karmaşık derin delik yapılarının kaplama zorluklarının üstesinden gelebilir.

2. Özelleştirilebilir, Farklı Boyutları Destekler

600×600mm / 510×515mm veya daha büyük özellikler dahil olmak üzere çeşitli boyutlardaki cam alt tabakaları destekler.

3. Proses Esnekliği, Çoklu Malzemelerle Uyumlu

Ekipman, iletkenlik ve korozyon direnci açısından farklı uygulama ihtiyaçlarını karşılayan Cu, Ti, W, Ni ve Pt gibi iletken veya işlevsel ince film malzemelerle uyumludur.

4. İstikrarlı Ekipman Performansı, Kolay Bakım

Ekipman, otomatik parametre ayarlama ve film kalınlığı homojenliğinin gerçek zamanlı izlenmesini sağlayan akıllı bir kontrol sistemi ile donatılmıştır; kolay bakım için modüler bir tasarıma sahiptir ve duruş süresini azaltır.

Başvuru:TGV/TSV/TMV ileri paketlemelerde kullanılabilir, ≥10:1 en boy oranına sahip derin delikli tohum tabakası kaplaması elde edilebilir.