Enjamlaryň artykmaçlygy
1. Çuň deşik örtügini optimizasiýa
Aýratyn çuň deşik örtük tehnologiýasy: Zhenhua Wakuumyň öz-özünden ösen çuň deşik örtük tehnologiýasy, çylşyrymly çuň deşik gurluşlarynyň örtük kynçylyklaryny ýeňip geçip, 30 mikrometr ýaly kiçijik duralgalarda-da 10: 1 has ýokary derejä ýetip biler.
2. Özbaşdak düzülip, dürli ululyklary goldaýar
600 × 600mm / 510 × 515mm ýa-da has uly spesifikasiýalary goşmak bilen dürli ululykdaky aýna substratlary goldaýar.
3. Köp materiallara laýyk gelýän prosesiň çeýeligi
Enjam, geçirijilik we poslama garşylyk üçin dürli amaly zerurlyklary kanagatlandyryp, Cu, Ti, W, Ni we Pt ýaly geçiriji ýa-da işleýän inçe film materiallary bilen gabat gelýär.
4. Durnukly enjamlaryň öndürijiligi, aňsat tehniki hyzmat
Enjam, awtomatiki parametrleri sazlamaga we filmiň galyňlygynyň birmeňzeşligine hakyky wagtda gözegçilik etmäge mümkinçilik berýän akylly dolandyryş ulgamy bilen enjamlaşdyrylandyr; aňsat hyzmat etmek, iş wagty azaltmak üçin modully dizaýny kabul edýär.
Arza:G10: 1 gatnaşygy bilen çuň deşik tohum gatlagynyň örtügine ýetmäge ukyply TGV / TSV / TMV ösen gaplama üçin ulanylyp bilner.