Plazmanyň göni polimerleşme prosesi

Plazmanyň göni polimerleşme prosesi

Plazma polimerleşme prosesi içki elektrod polimerleşme enjamlary we daşarky elektrod polimerleşme enjamlary üçin deňeşdirme boýunça ýönekeý, ýöne parametr saýlamak plazma polimerleşmesinde has möhümdir, sebäbi parametrler plazma polimerleşmesi wagtynda polimer plyonkalarynyň gurluşyna we işine has uly täsir edýär.

Göni plazma polimerleşmesiniň işleýiş tapgyrlary aşakdakylardyr:

(1) Sowurujy bilen arassalamak

Wakuum şertlerinde polimerleşme fon wakuumy 1,3 × 10-1Pa çenli pompalanmalydyr. Kislorod ýa-da azot mukdaryny gözegçilikde saklamak üçin ýörite talaplary talap edýän polimerleşme reaksiýalary üçin fon wakuum talaby has ýokarydyr.

(2) Daşaýjy gazyň we monomeriň zarýad reaksiýasy monomeri ýa-da garyşyk gazy

Wakuum derejesi 13-130Pa. Iş talap edýän plazma polimerleşmesi üçin degişli akym dolandyryş režimi we akym tizligi saýlanmaly, adatça 10.100 ml/min. Plazmada monomer molekulalary ionlaşdyrylýar we energiýa bölejikleriniň bombardman edilmegi bilen dissosiasiýa edilýär, netijede ionlar we aktiw genler ýaly aktiw bölejikler emele gelýär. Plazma tarapyndan aktiwleşdirilen aktiw bölejikler gaz fazasy we gaty fazanyň serhedinde plazma polimerleşmesine sezewar bolup biler. Monomer plazma polimerleşmesi üçin başlangyç çeşme bolup durýar we giriş reaksiýasy gazy we monomer belli bir arassalyga eýe bolmalydyr.

(3) Oýaryjy güýç çeşmesini saýlamak

Plazma polimerleşmek üçin plazma gurşawyny üpjün etmek maksady bilen DC, ýokary ýygylykly, RF ýa-da mikrotolkunly energiýa çeşmelerini ulanyp öndürilip bilner. Elektrik üpjünçiliginiň saýlanmagy polimeriň gurluşyna we işine bolan talaplara esaslanyp kesgitlenýär.

(4) Çykaryş režimini saýlamak

Polimer talaplary üçin plazma polimerleşmesi iki boşaltma režimini saýlap bilýär: üznüksiz boşaltma ýa-da impuls boşaltma.

(5) Çykaryş parametrlerini saýlamak

Plazma polimerleşmesi geçirilende, boşalma parametrlerini plazma parametrlerinden, polimer häsiýetlerinden we gurluş talaplaryndan göz öňünde tutmaly. Polimerleşme wagtynda ulanylýan güýjüň ululygy wakuum kamerasynyň göwrümi, elektrodyň ululygy, monomer akym tizligi we gurluşy, polimerleşme tizligi, şeýle hem polimer gurluşy we öndürijiligi bilen kesgitlenýär. Mysal üçin, reaksiýa kamerasynyň göwrümi 1L bolsa we RF Plazma polimerleşmesi kabul edilse, boşalma güýji 10 ~ 30W aralygynda bolar. Şeýle şertlerde, emele gelen plazma iş böleginiň ýüzünde inçe plýonka emele getirmek üçin agregasiýa edip biler. Plazma polimerleşme plýonkasynyň ösüş tizligi elektrik üpjünçiligine, monomer görnüşine we akym tizligine, şeýle hem proses şertlerine baglylykda üýtgeýär. Umuman alanyňda, ösüş tizligi 100nm/min ~ 1um/min.

(6) Plazma polimerleşmesinde parametrleriň ölçegi

Plazma polimerleşmesinde ölçenmeli plazma parametrleri we proses parametrleri: boşalma naprýaženiýesi, boşalma togy, boşalma ýygylygy, elektron temperaturasy, dykyzlyk, reaksiýa toparynyň görnüşi we konsentrasiýasy we ş.m.

——Bu makala Guangdong Zhenhua Technology tarapyndan çap edildioptiki örtük maşynlaryny öndüriji.