ప్లాస్మా ప్రత్యక్ష పాలిమరైజేషన్ ప్రక్రియ

ప్లాస్మా ప్రత్యక్ష పాలిమరైజేషన్ ప్రక్రియ

ఇంటర్నల్ ఎలక్ట్రోడ్ పాలిమరైజేషన్ పరికరాలు మరియు ఎక్స్టర్నల్ ఎలక్ట్రోడ్ పాలిమరైజేషన్ పరికరాలు రెండింటిలోనూ ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్ ప్రక్రియ సాపేక్షంగా సులభం, కానీ ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్‌లో పారామీటర్ల ఎంపిక మరింత ముఖ్యమైనది, ఎందుకంటే ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్ సమయంలో పాలిమర్ ఫిల్మ్‌ల నిర్మాణం మరియు పనితీరుపై పారామీటర్లు అధిక ప్రభావాన్ని చూపుతాయి.

డైరెక్ట్ ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్ యొక్క నిర్వహణ దశలు ఈ క్రింది విధంగా ఉన్నాయి:

(1) వాక్యూమింగ్

వాక్యూమ్ పరిస్థితులలో పాలిమరైజేషన్ యొక్క నేపథ్య వాక్యూమ్‌ను 1.3×10⁻¹Pa వరకు పంప్ చేయాలి. ఆక్సిజన్ లేదా నైట్రోజన్ పరిమాణాన్ని నియంత్రించడానికి ప్రత్యేక అవసరాలు ఉండే పాలిమరైజేషన్ చర్యలకు, ఈ నేపథ్య వాక్యూమ్ అవసరం ఇంకా ఎక్కువగా ఉంటుంది.

(2) ఛార్జ్ రియాక్షన్ మోనోమర్ లేదా క్యారియర్ గ్యాస్ మరియు మోనోమర్ యొక్క మిశ్రమ వాయువు

వాక్యూమ్ డిగ్రీ 13-130Pa ఉంటుంది. పని అవసరమయ్యే ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్ కోసం, తగిన ఫ్లో కంట్రోల్ మోడ్ మరియు ఫ్లో రేటును ఎంచుకోవాలి, సాధారణంగా 10-100mL/min. ప్లాస్మాలో, శక్తివంతమైన కణాల తాకిడి వల్ల మోనోమర్ అణువులు అయనీకరణం చెంది, వియోగం చెందుతాయి. దీని ఫలితంగా అయాన్లు మరియు క్రియాశీల జన్యువులు వంటి క్రియాశీల కణాలు ఏర్పడతాయి. ప్లాస్మా ద్వారా ఉత్తేజితమైన ఈ క్రియాశీల కణాలు వాయు దశ మరియు ఘన దశల మధ్య అంతరంలో ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్‌కు గురవుతాయి. ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్‌కు మోనోమర్ పూర్వగామికి మూలం, మరియు ఇన్‌పుట్ రియాక్షన్ గ్యాస్ మరియు మోనోమర్ నిర్దిష్ట స్వచ్ఛతను కలిగి ఉండాలి.

(3) ఉత్ప్రేరక విద్యుత్ సరఫరా ఎంపిక

పాలిమరైజేషన్ కోసం ప్లాస్మా వాతావరణాన్ని అందించడానికి, DC, అధిక-పౌనఃపున్యం, RF, లేదా మైక్రోవేవ్ విద్యుత్ వనరులను ఉపయోగించి ప్లాస్మాను ఉత్పత్తి చేయవచ్చు. పాలిమర్ యొక్క నిర్మాణం మరియు పనితీరు అవసరాల ఆధారంగా విద్యుత్ సరఫరా ఎంపిక నిర్ణయించబడుతుంది.

(4) డిశ్చార్జ్ మోడ్ ఎంపిక

పాలిమర్ అవసరాల కోసం, ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్ రెండు డిశ్చార్జ్ మోడ్‌లను ఎంచుకోవచ్చు: నిరంతర డిశ్చార్జ్ లేదా పల్స్ డిశ్చార్జ్.

(5) ఉత్సర్గ పారామితుల ఎంపిక

ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్ చేసేటప్పుడు, ప్లాస్మా పారామితులు, పాలిమర్ లక్షణాలు మరియు నిర్మాణ అవసరాల నుండి డిశ్చార్జ్ పారామితులను పరిగణనలోకి తీసుకోవాలి. పాలిమరైజేషన్ సమయంలో వర్తించే శక్తి యొక్క పరిమాణం వాక్యూమ్ ఛాంబర్ పరిమాణం, ఎలక్ట్రోడ్ పరిమాణం, మోనోమర్ ప్రవాహ రేటు మరియు నిర్మాణం, పాలిమరైజేషన్ రేటు, మరియు పాలిమర్ నిర్మాణం మరియు పనితీరు ద్వారా నిర్ణయించబడుతుంది. ఉదాహరణకు, రియాక్షన్ ఛాంబర్ పరిమాణం 1L ఉండి, RF ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్‌ను అవలంబిస్తే, డిశ్చార్జ్ శక్తి 10~30W పరిధిలో ఉంటుంది. అటువంటి పరిస్థితులలో, ఉత్పత్తి చేయబడిన ప్లాస్మా సమూహంగా ఏర్పడి వర్క్‌పీస్ ఉపరితలంపై ఒక పలుచని పొరను ఏర్పరుస్తుంది. ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్ పొర యొక్క పెరుగుదల రేటు విద్యుత్ సరఫరా, మోనోమర్ రకం మరియు ప్రవాహ రేటు, మరియు ప్రక్రియ పరిస్థితులను బట్టి మారుతుంది. సాధారణంగా, పెరుగుదల రేటు 100nm/min~1um/min ఉంటుంది.

(6) ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్‌లో పారామీటర్ కొలత

ప్లాస్మా పాలిమరైజేషన్‌లో కొలవవలసిన ప్లాస్మా పారామీటర్లు మరియు ప్రాసెస్ పారామీటర్లలో ఇవి ఉంటాయి: డిశ్చార్జ్ వోల్టేజ్, డిశ్చార్జ్ కరెంట్, డిశ్చార్జ్ ఫ్రీక్వెన్సీ, ఎలక్ట్రాన్ ఉష్ణోగ్రత, సాంద్రత, రియాక్షన్ గ్రూప్ రకం మరియు గాఢత మొదలైనవి.

ఈ కథనాన్ని గ్వాంగ్‌డాంగ్ జెన్‌హువా టెక్నాలజీ అనే సంస్థ విడుదల చేసింది.ఆప్టికల్ కోటింగ్ యంత్రాల తయారీదారు.