প্লাজমা প্রত্যক্ষ পলিমারাইজেশন প্রক্রিয়া

প্লাজমা প্রত্যক্ষ পলিমারাইজেশন প্রক্রিয়া

অভ্যন্তরীণ এবং বাহ্যিক উভয় প্রকার ইলেকট্রোড পলিমারাইজেশন সরঞ্জামের জন্যই প্লাজমা পলিমারাইজেশন প্রক্রিয়াটি তুলনামূলকভাবে সরল, কিন্তু এক্ষেত্রে প্যারামিটার নির্বাচন অধিক গুরুত্বপূর্ণ, কারণ এই প্রক্রিয়া চলাকালীন পলিমার ফিল্মের গঠন ও কার্যকারিতার উপর প্যারামিটারগুলোর ব্যাপক প্রভাব থাকে।

সরাসরি প্লাজমা পলিমারাইজেশনের কার্যপ্রণালী নিম্নরূপ:

(1) ভ্যাকুয়ামিং

ভ্যাকুয়াম অবস্থায় পলিমারাইজেশনের জন্য ব্যাকগ্রাউন্ড ভ্যাকুয়াম ১.৩×১০⁻¹ Pa পর্যন্ত পাম্প করা উচিত। যেসব পলিমারাইজেশন বিক্রিয়ায় অক্সিজেন বা নাইট্রোজেনের পরিমাণ নিয়ন্ত্রণের জন্য বিশেষ প্রয়োজনীয়তা থাকে, সেগুলোর ক্ষেত্রে ব্যাকগ্রাউন্ড ভ্যাকুয়ামের পরিমাণ আরও বেশি হয়।

(2) চার্জ বিক্রিয়া মনোমার অথবা বাহক গ্যাস এবং মনোমারের মিশ্র গ্যাস

ভ্যাকুয়ামের মাত্রা ১৩-১৩০ Pa। প্লাজমা পলিমারাইজেশনের জন্য উপযুক্ত প্রবাহ নিয়ন্ত্রণ মোড এবং প্রবাহের হার নির্বাচন করতে হবে, যা সাধারণত ১০-১০০ mL/min হয়ে থাকে। প্লাজমায়, শক্তিশালী কণার আঘাতের ফলে মনোমার অণুগুলো আয়নিত ও বিয়োজিত হয়, যার ফলে আয়ন এবং সক্রিয় জিনের মতো সক্রিয় কণা তৈরি হয়। প্লাজমা দ্বারা সক্রিয় এই কণাগুলো গ্যাসীয় ও কঠিন দশার সংযোগস্থলে প্লাজমা পলিমারাইজেশন ঘটাতে পারে। মনোমার হলো প্লাজমা পলিমারাইজেশনের পূর্বসূরীর উৎস, এবং ব্যবহৃত বিক্রিয়া গ্যাস ও মনোমারের একটি নির্দিষ্ট বিশুদ্ধতা থাকতে হবে।

(3) উত্তেজনা শক্তি সরবরাহ নির্বাচন

পলিমারাইজেশনের জন্য প্লাজমা পরিবেশ তৈরি করতে ডিসি, উচ্চ-কম্পাঙ্ক, আরএফ বা মাইক্রোওয়েভ শক্তি উৎস ব্যবহার করে প্লাজমা উৎপন্ন করা যেতে পারে। পলিমারের গঠন এবং কার্যকারিতার প্রয়োজনীয়তার উপর ভিত্তি করে শক্তি সরবরাহের নির্বাচন করা হয়।

(4) ডিসচার্জ মোড নির্বাচন

পলিমারের প্রয়োজন অনুসারে, প্লাজমা পলিমারাইজেশন দুটি ডিসচার্জ মোড বেছে নিতে পারে: অবিচ্ছিন্ন ডিসচার্জ বা পালস ডিসচার্জ।

(5) ডিসচার্জ প্যারামিটার নির্বাচন

প্লাজমা পলিমারাইজেশন পরিচালনা করার সময়, প্লাজমা প্যারামিটার, পলিমারের বৈশিষ্ট্য এবং কাঠামোগত প্রয়োজনীয়তা থেকে ডিসচার্জ প্যারামিটারগুলো বিবেচনা করতে হয়। পলিমারাইজেশনের সময় প্রয়োগকৃত শক্তির পরিমাণ ভ্যাকুয়াম চেম্বারের আয়তন, ইলেকট্রোডের আকার, মনোমারের প্রবাহ হার ও গঠন, পলিমারাইজেশনের হার এবং পলিমারের গঠন ও কার্যকারিতা দ্বারা নির্ধারিত হয়। উদাহরণস্বরূপ, যদি বিক্রিয়া চেম্বারের আয়তন ১ লিটার হয় এবং আরএফ প্লাজমা পলিমারাইজেশন পদ্ধতি গ্রহণ করা হয়, তবে ডিসচার্জ শক্তি ১০~৩০ ওয়াটের মধ্যে থাকবে। এই ধরনের পরিস্থিতিতে, উৎপন্ন প্লাজমা একত্রিত হয়ে ওয়ার্কপিসের পৃষ্ঠে একটি পাতলা ফিল্ম তৈরি করতে পারে। প্লাজমা পলিমারাইজেশন ফিল্মের বৃদ্ধির হার পাওয়ার সাপ্লাই, মনোমারের ধরন ও প্রবাহ হার এবং প্রক্রিয়ার অবস্থার সাথে পরিবর্তিত হয়। সাধারণত, বৃদ্ধির হার ১০০ ন্যানোমিটার/মিনিট থেকে ১ মাইক্রোমিটার/মিনিট পর্যন্ত হয়।

(6) প্লাজমা পলিমারাইজেশনে প্যারামিটার পরিমাপ

প্লাজমা পলিমারাইজেশনে পরিমাপযোগ্য প্লাজমা প্যারামিটার এবং প্রসেস প্যারামিটারগুলোর মধ্যে রয়েছে: ডিসচার্জ ভোল্টেজ, ডিসচার্জ কারেন্ট, ডিসচার্জ ফ্রিকোয়েন্সি, ইলেকট্রন তাপমাত্রা, ঘনত্ব, বিক্রিয়া গ্রুপের ধরন ও ঘনত্ব ইত্যাদি।

এই নিবন্ধটি গুয়াংডং ঝেনহুয়া টেকনোলজি কর্তৃক প্রকাশিত হয়েছে।অপটিক্যাল কোটিং মেশিনের প্রস্তুতকারক.