Plazma to'g'ridan-to'g'ri polimerizatsiya jarayoni
Plazma polimerizatsiyasi jarayoni ichki elektrod polimerizatsiyasi uskunalari va tashqi elektrod polimerizatsiyasi uskunalari uchun nisbatan sodda, ammo plazma polimerizatsiyasida parametrlarni tanlash muhimroq, chunki parametrlar plazma polimerizatsiyasi paytida polimer plyonkalarining tuzilishi va ishlashiga ko'proq ta'sir qiladi.
To'g'ridan-to'g'ri plazma polimerizatsiyasi uchun operatsiya bosqichlari quyidagilar:
(1) Changyutgich bilan tozalash
Vakuum sharoitida polimerizatsiya fon vakuumi 1,3 × 10-1Pa gacha pompalanishi kerak. Kislorod yoki azot miqdorini nazorat qilish uchun maxsus talablarni talab qiladigan polimerizatsiya reaksiyalari uchun fon vakuumiga bo'lgan talab yanada yuqori.
(2) Zaryad reaksiyasi monomeri yoki tashuvchi gaz va monomerning aralash gazi
Vakuum darajasi 13-130Pa. Ishni talab qiladigan plazma polimerizatsiyasi uchun tegishli oqimni boshqarish rejimi va oqim tezligi tanlanishi kerak, odatda 10,100 ml/min. Plazmada monomer molekulalari energetik zarrachalar bilan bombardimon qilish orqali ionlanadi va dissotsiatsiyalanadi, natijada ionlar va faol genlar kabi faol zarrachalar hosil bo'ladi. Plazma tomonidan faollashtirilgan faol zarrachalar gaz fazasi va qattiq faza chegarasida plazma polimerizatsiyasidan o'tishi mumkin. Monomer plazma polimerizatsiyasi uchun prekursor manbai bo'lib, kirish reaksiya gazi va monomeri ma'lum bir tozalikka ega bo'lishi kerak.
(3) Qo'zg'alish quvvat manbaini tanlash
Plazma polimerizatsiya uchun plazma muhitini ta'minlash maqsadida doimiy, yuqori chastotali, RF yoki mikroto'lqinli quvvat manbalari yordamida ishlab chiqarilishi mumkin. Elektr ta'minotini tanlash polimerning tuzilishi va ishlashiga qo'yiladigan talablarga asoslanib belgilanadi.
(4) Chiqarish rejimini tanlash
Polimer talablari uchun plazma polimerizatsiyasi ikkita tushirish rejimini tanlashi mumkin: uzluksiz tushirish yoki pulsatsiyalanuvchi tushirish.
(5) Chiqarish parametrlarini tanlash
Plazma polimerizatsiyasini o'tkazishda, plazma parametrlari, polimer xususiyatlari va tuzilish talablaridan kelib chiqib, razryad parametrlarini hisobga olish kerak. Polimerizatsiya paytida qo'llaniladigan quvvatning kattaligi vakuum kamerasining hajmi, elektrod hajmi, monomer oqim tezligi va tuzilishi, polimerlanish tezligi, shuningdek, polimer tuzilishi va ishlashi bilan belgilanadi. Masalan, agar reaksiya kamerasining hajmi 1 L bo'lsa va RF plazma polimerizatsiyasi qo'llanilsa, razryad quvvati 10 ~ 30 Vt oralig'ida bo'ladi. Bunday sharoitlarda hosil bo'lgan plazma ish qismi yuzasida yupqa plyonka hosil qilish uchun agregatsiyalanishi mumkin. Plazma polimerizatsiya plyonkasining o'sish tezligi quvvat manbai, monomer turi va oqim tezligi hamda jarayon sharoitlariga qarab o'zgaradi. Odatda, o'sish tezligi 100 nm/min ~ 1 um/min ni tashkil qiladi.
(6) Plazma polimerizatsiyasida parametrlarni o'lchash
Plazma polimerizatsiyasida o'lchanadigan plazma parametrlari va jarayon parametrlari quyidagilarni o'z ichiga oladi: razryad kuchlanishi, razryad oqimi, razryad chastotasi, elektron harorati, zichlik, reaksiya guruhi turi va konsentratsiyasi va boshqalar.
——Ushbu maqola Guangdong Zhenhua Technology tomonidan nashr etilganoptik qoplama mashinalari ishlab chiqaruvchisi.
Nashr vaqti: 2023-yil 5-may