Раванди полимеризатсияи мустақими плазма

Раванди полимеризатсияи мустақими плазма

Раванди полимеризатсияи плазма ҳам барои таҷҳизоти полимеризатсияи электродҳои дохилӣ ва ҳам барои таҷҳизоти полимеризатсияи электродҳои беруна нисбатан содда аст, аммо интихоби параметрҳо дар полимеризатсияи плазма муҳимтар аст, зеро параметрҳо ҳангоми полимеризатсияи плазма ба сохтор ва кори плёнкаҳои полимер таъсири бештар мерасонанд.

Қадамҳои амалиёт барои полимеризатсияи мустақими плазма чунинанд:

(1) Чангкашаккунӣ

Вакууми заминавии полимеризатсия дар шароити вакуум бояд то 1,3 × 10-1Pa пур карда шавад. Барои реаксияҳои полимеризатсия, ки талаботи махсусро барои назорати миқдори оксиген ё нитроген талаб мекунанд, талаботи вакууми заминавӣ боз ҳам баландтар аст.

(2) Мономери реаксияи заряднокӣ ё гази омехтаи гази интиқолдиҳанда ва мономер

Дараҷаи вакуум 13-130Па аст. Барои полимеризатсияи плазма, ки корро талаб мекунад, бояд режими мувофиқи назорати ҷараён ва суръати ҷараён интихоб карда шавад, одатан 10.100 мл/дақ. Дар плазма, молекулаҳои мономер бо бомбаборони зарраҳои энергетикӣ ионизатсия ва пароканда мешаванд, ки дар натиҷа зарраҳои фаъол ба монанди ионҳо ва генҳои фаъол ба вуҷуд меоянд. Зарраҳои фаъоле, ки аз ҷониби плазма фаъол мешаванд, метавонанд дар сатҳи байни фазаи газӣ ва фазаи сахт полимеризатсияи плазмаро аз сар гузаронанд. Мономер манбаи пешгузаштаи полимеризатсияи плазма мебошад ва гази реаксияи вуруд ва мономер бояд покии муайян дошта бошанд.

(3) Интихоби манбаи қувваи ангезанда

Плазма метавонад бо истифода аз манбаъҳои барқи доимӣ, басомади баланд, радиорелегии радио ё микроволновка тавлид карда шавад, то муҳити плазмаро барои полимеризатсия фароҳам оварад. Интихоби манбаи барқ ​​​​дар асоси талабот ба сохтор ва кори полимер муайян карда мешавад.

(4) Интихоби ҳолати холӣ кардан

Барои талаботи полимерӣ, полимеризатсияи плазма метавонад ду ҳолати разрядро интихоб кунад: разрядкунии пайваста ё разрядкунии импулсӣ.

(5) Интихоби параметрҳои холӣкунӣ

Ҳангоми гузаронидани полимеризатсияи плазма, параметрҳои разряд бояд аз рӯи параметрҳои плазма, хосиятҳои полимер ва талаботи сохтор ба назар гирифта шаванд. Андозаи қувваи истифодашуда ҳангоми полимеризатсия аз рӯи ҳаҷми камераи вакуумӣ, андозаи электрод, суръати ҷараёни мономер ва сохтор, суръати полимеризатсия ва сохтор ва самаранокии полимер муайян карда мешавад. Масалан, агар ҳаҷми камераи реаксия 1 л бошад ва полимеризатсияи плазмаи RF қабул карда шавад, қувваи разряд дар ҳудуди 10 ~ 30 Вт хоҳад буд. Дар чунин шароит, плазмаи ҳосилшуда метавонад дар сатҳи кор плёнкаи тунукро ташкил диҳад. Суръати афзоиши плёнкаи полимеризатсияи плазма аз манбаи барқ, намуди мономер ва суръати ҷараён ва шароити раванд вобаста аст. Умуман, суръати афзоиш 100 нм/дақ ~ 1 мкм/дақ аст.

(6) Андозагирии параметрҳо дар полимеризатсияи плазма

Параметрҳои плазма ва параметрҳои раванде, ки ҳангоми полимеризатсияи плазма чен карда мешаванд, инҳоянд: шиддати разряд, ҷараёни разряд, басомади разряд, ҳарорати электрон, зичӣ, намуд ва консентратсияи гурӯҳи реаксия ва ғайра.

——Ин мақола аз ҷониби Guangdong Zhenhua Technology нашр шудааст.истеҳсолкунандаи мошинҳои пӯшонидани оптикӣ.