ដំណើរការប៉ូលីមែរដោយផ្ទាល់ពីប្លាស្មា
ដំណើរការនៃការប៉ូលីមែរកម្មប្លាស្មាគឺសាមញ្ញណាស់សម្រាប់ទាំងឧបករណ៍ប៉ូលីមែរកម្មអេឡិចត្រូតខាងក្នុង និងឧបករណ៍ប៉ូលីមែរកម្មអេឡិចត្រូតខាងក្រៅ ប៉ុន្តែការជ្រើសរើសប៉ារ៉ាម៉ែត្រគឺសំខាន់ជាងនៅក្នុងប៉ូលីមែរកម្មប្លាស្មា ពីព្រោះប៉ារ៉ាម៉ែត្រមានឥទ្ធិពលកាន់តែខ្លាំងទៅលើរចនាសម្ព័ន្ធ និងដំណើរការនៃខ្សែភាពយន្តប៉ូលីមែរកំឡុងពេលប៉ូលីមែរកម្មប្លាស្មា។
ជំហានប្រតិបត្តិការសម្រាប់ប៉ូលីមែរប្លាស្មាដោយផ្ទាល់មានដូចខាងក្រោម៖
(1) ការបូមធូលី
សម្ពាធក្នុងលំហខាងក្រោយនៃប្រតិកម្មប៉ូលីមែរក្រោមលក្ខខណ្ឌសម្ពាធក្នុងលំហគួរតែត្រូវបានបូមដល់ 1.3×10-1Pa។ ចំពោះប្រតិកម្មប៉ូលីមែរដែលត្រូវការតម្រូវការពិសេសសម្រាប់ការគ្រប់គ្រងមាតិកាអុកស៊ីសែន ឬអាសូត តម្រូវការសម្ពាធក្នុងលំហខាងក្រោយគឺកាន់តែខ្ពស់ជាងនេះ។
(2) ម៉ូណូម័រប្រតិកម្មបន្ទុក ឬឧស្ម័នចម្រុះនៃឧស្ម័នផ្ទុក និងម៉ូណូម័រ
កម្រិតសម្ពាធក្នុងសុញ្ញកាសគឺ 13-130Pa។ ចំពោះប្រតិកម្មប៉ូលីមែរប្លាស្មាដែលត្រូវការការងារ របៀបគ្រប់គ្រងលំហូរសមស្រប និងអត្រាលំហូរត្រូវតែជ្រើសរើស ជាទូទៅ 10.100mL/នាទី។ នៅក្នុងប្លាស្មា ម៉ូលេគុលម៉ូណូមែរត្រូវបានអ៊ីយ៉ូដ និងបំបែកដោយការទម្លាក់គ្រាប់បែកនៃភាគល្អិតថាមពល ដែលបណ្តាលឱ្យមានភាគល្អិតសកម្មដូចជាអ៊ីយ៉ុង និងហ្សែនសកម្ម។ ភាគល្អិតសកម្មដែលបានធ្វើឱ្យសកម្មដោយប្លាស្មាអាចឆ្លងកាត់ប្រតិកម្មប៉ូលីមែរប្លាស្មានៅចំណុចប្រសព្វនៃដំណាក់កាលឧស្ម័ន និងដំណាក់កាលរឹង។ ម៉ូណូមែរគឺជាប្រភពនៃបុព្វបទសម្រាប់ប្រតិកម្មប៉ូលីមែរប្លាស្មា ហើយឧស្ម័នប្រតិកម្មបញ្ចូល និងម៉ូណូមែរត្រូវតែមានភាពបរិសុទ្ធជាក់លាក់។
(3) ការជ្រើសរើសការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលរំញោច
ប្លាស្មាអាចត្រូវបានបង្កើតដោយប្រើប្រភពថាមពល DC ប្រេកង់ខ្ពស់ RF ឬមីក្រូវ៉េវ ដើម្បីផ្តល់បរិយាកាសប្លាស្មាសម្រាប់ប៉ូលីមែរ។ ការជ្រើសរើសការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលត្រូវបានកំណត់ដោយផ្អែកលើតម្រូវការសម្រាប់រចនាសម្ព័ន្ធ និងដំណើរការរបស់ប៉ូលីមែរ។
(4) ការជ្រើសរើសរបៀបបញ្ចេញ
ចំពោះតម្រូវការប៉ូលីមែរ ប៉ូលីមែរប្លាស្មាអាចជ្រើសរើសរបៀបបញ្ចេញពីរយ៉ាង៖ ការបញ្ចេញជាបន្តបន្ទាប់ ឬ ការបញ្ចេញជីពចរ។
(5) ការជ្រើសរើសប៉ារ៉ាម៉ែត្រនៃការបញ្ចេញ
នៅពេលធ្វើការប៉ូលីមែរនៃប្លាស្មា ប៉ារ៉ាម៉ែត្រនៃការបញ្ចេញត្រូវពិចារណាពីប៉ារ៉ាម៉ែត្រប្លាស្មា លក្ខណៈសម្បត្តិប៉ូលីមែរ និងតម្រូវការរចនាសម្ព័ន្ធ។ ទំហំនៃថាមពលដែលបានអនុវត្តក្នុងអំឡុងពេលប៉ូលីមែរត្រូវបានកំណត់ដោយបរិមាណនៃបន្ទប់បូមធូលី ទំហំអេឡិចត្រូត អត្រាលំហូរ និងរចនាសម្ព័ន្ធម៉ូណូមែរ អត្រាប៉ូលីមែរ និងរចនាសម្ព័ន្ធប៉ូលីមែរ និងដំណើរការ។ ឧទាហរណ៍ ប្រសិនបើបរិមាណបន្ទប់ប្រតិកម្មគឺ 1 លីត្រ ហើយការប៉ូលីមែរនៃប្លាស្មា RF ត្រូវបានអនុម័ត ថាមពលបញ្ចេញនឹងស្ថិតនៅក្នុងចន្លោះពី 10~30W។ ក្រោមលក្ខខណ្ឌបែបនេះ ប្លាស្មាដែលបង្កើតបានអាចប្រមូលផ្តុំគ្នាដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តស្តើងមួយនៅលើផ្ទៃនៃស្នាដៃ។ អត្រាកំណើននៃខ្សែភាពយន្តប៉ូលីមែរនៃប្លាស្មាប្រែប្រួលទៅតាមការផ្គត់ផ្គង់ថាមពល ប្រភេទម៉ូណូមែរ និងអត្រាលំហូរ និងលក្ខខណ្ឌដំណើរការ។ ជាទូទៅ អត្រាកំណើនគឺ 100nm/នាទី~1um/នាទី។
(6) ការវាស់វែងប៉ារ៉ាម៉ែត្រនៅក្នុងប៉ូលីមែរប្លាស្មា
ប៉ារ៉ាម៉ែត្រប្លាស្មា និងប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការដែលត្រូវវាស់វែងនៅក្នុងប្រតិកម្មប៉ូលីមែរប្លាស្មារួមមាន៖ វ៉ុលបញ្ចេញ ចរន្តបញ្ចេញ ប្រេកង់បញ្ចេញ សីតុណ្ហភាពអេឡិចត្រុង ដង់ស៊ីតេ ប្រភេទក្រុមប្រតិកម្ម និងកំហាប់។ល។
——អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុន Guangdong Zhenhua Technology ដែលជាក្រុមហ៊ុនមួយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតអុបទិក.
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ឧសភា-០៥-២០២៣