Ilana polymerization taara ti pilasima
Ilana ti polymerization Plasma rọrun pupọ fun awọn ohun elo polymerization elekitirodu inu ati awọn ohun elo polymerization elekitirodu ita, ṣugbọn yiyan paramita ṣe pataki julọ ninu polymerization Plasma, nitori awọn paramita ni ipa ti o tobi lori eto ati iṣẹ ti awọn fiimu polymer lakoko polymerization Plasma.
Awọn igbesẹ iṣiṣẹ fun polymerization pilasima taara jẹ bi atẹle:
(1) Ṣíṣe ìfọṣọ
A gbọ́dọ̀ fa ìfọ́mọ́lẹ̀ ìfọ́mọ́lẹ̀ sí 1.3×10-1Pa. Fún àwọn ìhùwàsí ìfọ́mọ́lẹ̀ tí ó nílò àwọn ohun pàtàkì fún ṣíṣàkóso àkóónú atẹ́gùn tàbí nitrogen, ohun tí a nílò fún ìfọ́mọ́lẹ̀ ìfọ́mọ́lẹ̀ ìpìlẹ̀ náà ga jù bẹ́ẹ̀ lọ.
(2) Monomer tabi gaasi adalu ti gaasi ati monomer ti ngbe
Ìwọ̀n ìfàmọ́ra jẹ́ 13-130Pa. Fún ìpèsè ìpèsè ìpèsè ìpèsè ìpèsè ìpèsè ìpèsè (plasma polymerization) tí ó nílò iṣẹ́, a gbọ́dọ̀ yan ipò ìṣàkóso ìṣàn omi tí ó yẹ àti ìwọ̀n ìṣàn omi tí ó yẹ, ní gbogbogbòò 10.100mL/min. Nínú plasma, a máa ń yọ́ àwọn molecule monomer tí a sì máa ń yapa nípa lílo àwọn pátákó alágbára, èyí tí yóò mú kí àwọn pátákó agbára bíi ions àti àwọn jínì tí ń ṣiṣẹ́ ṣiṣẹ́. Àwọn pátákó tí ń ṣiṣẹ́ tí plasma ń ṣiṣẹ́ lè fara da ìpèsè ...
(3) Yíyan ipese agbara iwuri
A le ṣe agbekalẹ plasma nipa lilo awọn orisun agbara DC, igbohunsafẹfẹ giga, RF, tabi awọn orisun agbara makirowefu lati pese agbegbe plasma fun polymerization. Yiyan ipese agbara ni a pinnu da lori awọn ibeere fun eto ati iṣẹ ti polymer naa.
(4) Yíyàn ipò ìtújáde
Fún àwọn ohun tí a nílò láti ṣe, ìpèsè ...
(5) Àṣàyàn àwọn pàrámítà ìtújáde
Nígbà tí a bá ń ṣe ìtọ́jú ìpèsè omi ara Plasma, a gbọ́dọ̀ gbé àwọn pàrámítà ìtújáde yẹ̀ wò láti inú àwọn pàrámítà plasma, àwọn ànímọ́ polymer àti àwọn ohun tí a nílò nípa ìṣètò. Ìwọ̀n agbára tí a lò nígbà ìpèsè omi ara ni a pinnu nípa ìwọ̀n iyàrá vacuum, ìwọ̀n elektirọdu, ìwọ̀n ìṣàn monomer àti ìṣètò, ìwọ̀n polymerization, àti ìṣètò polymer àti iṣẹ́ polymer. Fún àpẹẹrẹ, tí ìwọ̀n iyàrá ìṣesí bá jẹ́ 1L àti RF polymerization plasma bá gba, agbára ìtújáde yóò wà ní ìwọ̀n 10~30W. Lábẹ́ irú àwọn ipò bẹ́ẹ̀, plasma tí a ṣẹ̀dá lè para pọ̀ láti ṣẹ̀dá fíìmù tín-ín-rín lórí ojú iṣẹ́ náà. Ìwọ̀n ìdàgbàsókè ti fíìmù polymerization plasma yàtọ̀ síra pẹ̀lú ìpèsè agbára, irú monomer àti ìṣàn ìṣàn, àti àwọn ipò iṣẹ́. Ní gbogbogbòò, ìwọ̀n ìdàgbàsókè jẹ́ 100nm/min~1um/min.
(6) Wíwọ̀n paramita nínú ìpèsè polymerization Plasma
Àwọn pàrámítà plasma àti àwọn pàrámítà ilana tí a ó wọ̀n nínú ìpolórí Plasma ní: fóltéèjì ìtújáde, ìṣàn ìtújáde, ìgbagbogbo ìtújáde, iwọ̀n otútù Electron, ìwọ̀n, irú ẹgbẹ́ ìhùwàpadà àti ìfojúsùn, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.
——Gangdong Zhenhua Technology ló gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde,olùpèsè àwọn ẹ̀rọ ìbòrí opitika.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: May-05-2023