Proseso sa direktang polimerisasyon sa plasma
Ang proseso sa Plasma polymerization medyo simple para sa internal electrode polymerization equipment ug external electrode polymerization equipment, apan ang pagpili sa parameter mas importante sa Plasma polymerization, tungod kay ang mga parameter adunay mas dakong epekto sa istruktura ug performance sa polymer films atol sa Plasma polymerization.
Ang mga lakang sa operasyon para sa direktang plasma polymerization mao ang mosunod:
(1) Pag-vacuum
Ang background vacuum sa polymerization ubos sa mga kondisyon sa vacuum kinahanglan nga ibomba ngadto sa 1.3×10-1Pa. Alang sa mga reaksyon sa polymerization nga nanginahanglan og espesyal nga mga kinahanglanon alang sa pagkontrol sa sulud sa oxygen o nitrogen, ang kinahanglanon sa background vacuum mas taas pa.
(2) Monomer sa reaksyon sa karga o sinagol nga gas sa carrier gas ug monomer
Ang vacuum degree kay 13-130Pa. Para sa Plasma polymerization nga nanginahanglan og trabaho, ang angay nga flow control mode ug flow rate kinahanglan pilion, kasagaran 10.100mL/min. Sa plasma, ang mga monomer molecule gi-ionize ug gi-dissociate pinaagi sa pagbomba sa mga energetic particle, nga moresulta sa mga aktibong particle sama sa ions ug active genes. Ang mga aktibong particle nga gi-activate sa plasma mahimong moagi sa Plasma polymerization sa interface sa gas phase ug solid phase. Ang monomer mao ang tinubdan sa precursor para sa Plasma polymerization, ug ang input reaction gas ug monomer kinahanglan adunay piho nga kaputli.
(3) Pagpili sa suplay sa kuryente sa pag-excite
Ang plasma mahimong mamugna gamit ang DC, high-frequency, RF, o microwave power sources aron makahatag og plasma environment para sa polymerization. Ang pagpili sa power supply gitino base sa mga kinahanglanon para sa istruktura ug performance sa polymer.
(4) Pagpili sa pamaagi sa pagpagawas
Alang sa mga kinahanglanon sa polimer, ang plasma polymerization makapili og duha ka discharge mode: padayon nga pag-discharge o pulse discharge.
(5) Pagpili sa mga parametro sa pagpagawas
Sa pagpahigayon sa Plasma polymerization, ang mga discharge parameter kinahanglan nga tagdon gikan sa mga plasma parameter, mga kabtangan sa polymer ug mga kinahanglanon sa istruktura. Ang gidak-on sa gigamit nga gahum atol sa polymerization gitino sa gidaghanon sa vacuum chamber, gidak-on sa electrode, monomer flow rate ug istruktura, polymerization rate, ug polymer structure ug performance. Pananglitan, kon ang gidaghanon sa reaction chamber kay 1L ug ang RF Plasma polymerization gigamit, ang discharge power anaa sa range nga 10~30W. Ubos sa maong mga kondisyon, ang plasma nga namugna mahimong magtapok aron maporma ang usa ka nipis nga pelikula sa ibabaw sa workpiece. Ang growth rate sa Plasma polymerization film managlahi depende sa power supply, monomer type ug flow rate, ug mga kondisyon sa proseso. Kasagaran, ang growth rate kay 100nm/min~1um/min.
(6) Pagsukod sa mga parametro sa Plasma polymerization
Ang mga parametro sa plasma ug mga parametro sa proseso nga sukdon sa Plasma polymerization naglakip sa: discharge voltage, discharge current, discharge frequency, Electron temperature, density, reaction group type ug concentration, ug uban pa.
——Kini nga artikulo gipagawas sa Guangdong Zhenhua Technology, usa katiggama sa mga makina sa optical coating.
Oras sa pag-post: Mayo-05-2023