የፕላዝማ ቀጥተኛ ፖሊሜራይዜሽን ሂደት

የፕላዝማ ቀጥተኛ ፖሊሜራይዜሽን ሂደት

የፕላዝማ ፖሊመሪዜሽን ሂደት ለሁለቱም ውስጣዊ ኤሌክትሮድ ፖሊመሪዜሽን መሳሪያዎች እና ለውጫዊ ኤሌክትሮድ ፖሊመሪዜሽን መሳሪያዎች በአንጻራዊነት ቀላል ነው፣ ነገር ግን የፓራሜትር ምርጫ በፕላዝማ ፖሊመሪዜሽን ውስጥ የበለጠ አስፈላጊ ነው፣ ምክንያቱም መለኪያዎች በፕላዝማ ፖሊመሪዜሽን ወቅት የፖሊመር ፊልሞችን አወቃቀር እና አፈፃፀም ላይ የበለጠ ተጽዕኖ ያሳድራሉ።

ለቀጥታ የፕላዝማ ፖሊሜራይዜሽን የአሠራር ደረጃዎች እንደሚከተለው ናቸው

(1) ቫክዩም ማድረግ

በቫክዩም ሁኔታዎች ውስጥ የፖሊሜራይዜሽን የጀርባ ክፍተት ወደ 1.3×10-1Pa መሳብ አለበት። የኦክስጅን ወይም የናይትሮጅን ይዘት ለመቆጣጠር ልዩ መስፈርቶችን የሚጠይቁ የፖሊሜራይዜሽን ግብረመልሶች፣ የጀርባ ክፍተት አስፈላጊነት የበለጠ ከፍ ያለ ነው።

(2) የቻርጅ ምላሽ ሞኖመር ወይም የተቀላቀለ ጋዝ የተሸካሚ ​​ጋዝ እና ሞኖመር

የቫክዩም ዲግሪው 13-130 ፓ ነው። ለፕላዝማ ፖሊሜራይዜሽን ሥራ የሚፈልግ፣ ተገቢው የፍሰት መቆጣጠሪያ ሁነታ እና የፍሰት መጠን መመረጥ አለበት፣ በአጠቃላይ 10.100 ሚሊ ሊትር/ደቂቃ። በፕላዝማ ውስጥ፣ የሞኖመር ሞለኪውሎች በኃይል ቅንጣቶች ቦምብ አዮኒዝድ እና ተለያይተው ይከፋፈላሉ፣ በዚህም ምክንያት እንደ አየኖች እና ንቁ ጂኖች ያሉ ንቁ ቅንጣቶች ይፈጠራሉ። በፕላዝማ የሚንቀሳቀሱት ንቁ ቅንጣቶች በጋዝ ደረጃ እና በጠጣር ደረጃ መካከል ባለው ግንኙነት የፕላዝማ ፖሊሜራይዜሽን ሊደረጉ ይችላሉ። ሞኖመር ለፕላዝማ ፖሊሜራይዜሽን የፕሪከርሰር ምንጭ ሲሆን የግቤት ምላሽ ጋዝ እና ሞኖመር የተወሰነ ንፅህና ሊኖራቸው ይገባል።

(3) የማነቃቂያ ኃይል አቅርቦት ምርጫ

ፕላዝማ ለፖሊሜራይዜሽን የፕላዝማ አካባቢ ለማቅረብ የዲሲ፣ ከፍተኛ ድግግሞሽ፣ አርኤፍ ወይም ማይክሮዌቭ የኃይል ምንጮችን በመጠቀም ሊፈጠር ይችላል። የኃይል አቅርቦቱ ምርጫ የሚወሰነው ለፖሊሜሩ መዋቅር እና አፈጻጸም መስፈርቶች ላይ በመመስረት ነው።

(4) የመልቀቂያ ሁነታ ምርጫ

ለፖሊመር መስፈርቶች፣ የፕላዝማ ፖሊመሪዜሽን ሁለት የመውጫ ሁነታዎችን ሊመርጥ ይችላል፡ ቀጣይነት ያለው የመውጣት ወይም የልብ ምት መፍሰስ።

(5) የመልቀቂያ መለኪያዎች ምርጫ

የፕላዝማ ፖሊመራይዜሽን ሲያካሂዱ፣ የፈሳሽ መለኪያዎች ከፕላዝማ መለኪያዎች፣ ከፖሊመር ባህሪያት እና ከመዋቅር መስፈርቶች ግምት ውስጥ መግባት አለባቸው። በፖሊሜራይዜሽን ወቅት የሚተገበረው ኃይል መጠን የሚወሰነው በቫክዩም ክፍሉ መጠን፣ በኤሌክትሮድ መጠን፣ በሞኖመር ፍሰት መጠን እና መዋቅር፣ በፖሊሜራይዜሽን መጠን እና በፖሊመር መዋቅር እና አፈፃፀም ነው። ለምሳሌ፣ የምላሽ ክፍሉ መጠን 1L ከሆነ እና የRF ፕላዝማ ፖሊመራይዜሽን ከተተገበረ፣ የመልቀቂያው ኃይል ከ10~30W ክልል ውስጥ ይሆናል። በእንደዚህ ዓይነት ሁኔታዎች፣ የሚፈጠረው ፕላዝማ በስራ ቦታው ወለል ላይ ቀጭን ፊልም ለመፍጠር ሊዋሃድ ይችላል። የፕላዝማ ፖሊመራይዜሽን ፊልም የእድገት መጠን እንደ የኃይል አቅርቦት፣ የሞኖመር አይነት እና የፍሰት መጠን እና የሂደት ሁኔታዎች ይለያያል። በአጠቃላይ የእድገት መጠኑ 100nm/min~1um/min ነው።

(6) በፕላዝማ ፖሊሜራይዜሽን ውስጥ የፓራሜትር መለኪያ

በፕላዝማ ፖሊሜራይዜሽን ውስጥ የሚለኩት የፕላዝማ መለኪያዎች እና የሂደት መለኪያዎች የሚከተሉትን ያካትታሉ፡- የውጤት ቮልቴጅ፣ የውጤት ፍሰት፣ የውጤት ድግግሞሽ፣ የኤሌክትሮን ሙቀት፣ ጥግግት፣ የምላሽ ቡድን አይነት እና ክምችት፣ ወዘተ.

——ይህ ጽሑፍ የወጣው በጓንግዶንግ ዠንሁዋ ቴክኖሎጂ ነው።የኦፕቲካል ሽፋን ማሽኖች አምራች.