Плазма туры полимерлашу процессы
Плазма полимеризациясе процессы эчке электрод полимеризациясе җиһазлары өчен дә, тышкы электрод полимеризациясе җиһазлары өчен дә чагыштырмача гади, ләкин плазма полимеризациясендә параметрлар сайлау мөһимрәк, чөнки параметрлар плазма полимеризациясе вакытында полимер пленкаларының структурасына һәм эшчәнлегенә зуррак йогынты ясый.
Туры плазма полимеризациясе өчен эш адымнары түбәндәгечә:
(1) Тузан суырткыч
Вакуум шартларында полимерлашуның фон вакуумын 1,3 × 10-1Па га кадәр суыртырга кирәк. Кислород яки азот күләмен контрольдә тоту өчен махсус таләпләр таләп итә торган полимерлашу реакцияләре өчен фон вакуумы таләбе тагын да югарырак.
(2) Корылма реакциясе мономеры яки ташучы газ һәм мономер катнаш газы
Вакуум дәрәҗәсе 13-130Па. Эш таләп итә торган плазма полимеризациясе өчен, тиешле агым контроле режимы һәм агым тизлеге сайланырга тиеш, гадәттә 10,100 мл/мин. Плазмада мономер молекулалары ионлаша һәм энергетик кисәкчәләр белән бомбага тоту ярдәмендә диссоциацияләнә, нәтиҗәдә ионнар һәм актив геннар кебек актив кисәкчәләр барлыкка килә. Плазма белән активлаштырылган актив кисәкчәләр газ фазасы һәм каты фаза чикләрендә плазма полимеризациясенә дучар була ала. Мономер плазма полимеризациясе өчен башлангыч чыганак булып тора, һәм керү реакциясе газы һәм мономеры билгеле бер сафлыкка ия булырга тиеш.
(3) Кузгату өчен көч чыганагын сайлау
Плазма полимерлашу өчен плазма мохите булдыру максатыннан даими ток, югары ешлыклы, РФ яки микродулкынлы энергия чыганаклары ярдәмендә җитештерелергә мөмкин. Электр белән тәэмин итүне сайлау полимерның структурасына һәм эшчәнлегенә карата таләпләргә нигезләнеп билгеләнә.
(4) Чыгару режимын сайлау
Полимер таләпләре өчен, плазма полимеризациясе ике разряд режимын сайлый ала: өзлексез разряд яки импульслы разряд.
(5) Чыгару параметрларын сайлау
Плазма полимеризациясен үткәргәндә, разряд параметрларын плазма параметрларыннан, полимер үзлекләреннән һәм структура таләпләреннән исәпкә алырга кирәк. Полимеризация вакытында кулланылган көчнең зурлыгы вакуум камерасының күләме, электрод зурлыгы, мономер агымы тизлеге һәм структурасы, полимеризация тизлеге, шулай ук полимер структурасы һәм эшчәнлеге белән билгеләнә. Мәсәлән, реакция камерасының күләме 1 л булса һәм РФ плазма полимеризациясе кулланылса, разряд көче 10 ~ 30 Вт диапазонында булачак. Мондый шартларда барлыкка килгән плазма эш кисәге өслегендә юка пленка барлыкка китереп агрегацияләнә ала. Плазма полимеризация пленкасының үсеш тизлеге электр белән тәэмин итүгә, мономер төренә һәм агым тизлегенә, шулай ук процесс шартларына бәйле. Гадәттә, үсеш тизлеге 100 нм/мин ~ 1 мкм/мин тәшкил итә.
(6) Плазма полимеризациясендә параметрларны үлчәү
Плазма полимеризациясендә үлчәнергә тиешле плазма параметрлары һәм процесс параметрлары түбәндәгеләрне үз эченә ала: разряд көчәнеше, разряд тогы, разряд ешлыгы, электрон температурасы, тыгызлык, реакция төркеме тибы һәм концентрациясе һ.б.
——Бу мәкалә Гуандун Чжэньхуа Технологиясе тарафыннан бастырылган,оптик каплау машиналары җитештерүчесе.
Бастырылган вакыты: 2023 елның 5 мае