பிளாஸ்மா நேரடி பாலிமரைசேஷன் செயல்முறை

பிளாஸ்மா நேரடி பாலிமரைசேஷன் செயல்முறை

உள் மின்முனை பாலிமரைசேஷன் கருவிகள் மற்றும் வெளி மின்முனை பாலிமரைசேஷன் கருவிகள் ஆகிய இரண்டிற்கும் பிளாஸ்மா பாலிமரைசேஷன் செயல்முறை ஒப்பீட்டளவில் எளிமையானது. இருப்பினும், பிளாஸ்மா பாலிமரைசேஷனில் அளவுருத் தேர்வு மிகவும் முக்கியமானது, ஏனெனில் பிளாஸ்மா பாலிமரைசேஷனின் போது பாலிமர் படங்களின் அமைப்பு மற்றும் செயல்திறனில் அளவுருக்கள் பெரும் தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகின்றன.

நேரடி பிளாஸ்மா பாலிமரைசேஷனுக்கான செயல்பாட்டுப் படிகள் பின்வருமாறு:

(1) வெற்றிடமாக்குதல்

வெற்றிடச் சூழலில் நடைபெறும் பாலிமரைசேஷனின் பின்னணி வெற்றிடமானது 1.3×10⁻¹Pa அளவிற்கு உயர்த்தப்பட வேண்டும். ஆக்சிஜன் அல்லது நைட்ரஜன் உள்ளடக்கத்தைக் கட்டுப்படுத்துவதற்கான சிறப்புத் தேவைகளைக் கொண்ட பாலிமரைசேஷன் வினைகளுக்கு, பின்னணி வெற்றிடத் தேவை இன்னும் அதிகமாகும்.

(2) மின்னூட்ட வினை மோனோமர் அல்லது கேரியர் வாயு மற்றும் மோனோமரின் கலப்பு வாயு.

வெற்றிடத்தின் அளவு 13-130 பாஸ்கல் ஆகும். வேலை தேவைப்படும் பிளாஸ்மா பாலிமரைசேஷனுக்கு, பொருத்தமான பாய்வுக் கட்டுப்பாட்டு முறை மற்றும் பாய்வு விகிதம் தேர்ந்தெடுக்கப்பட வேண்டும், பொதுவாக 10-100 மி.லி/நிமிடம். பிளாஸ்மாவில், ஆற்றல்மிக்க துகள்களின் தாக்குதலால் மோனோமர் மூலக்கூறுகள் அயனியாக்கம் செய்யப்பட்டு சிதைக்கப்படுகின்றன, இதன் விளைவாக அயனிகள் மற்றும் செயல்படும் மரபணுக்கள் போன்ற செயல்படும் துகள்கள் உருவாகின்றன. பிளாஸ்மாவால் செயல்படுத்தப்பட்ட இந்த செயல்படும் துகள்கள், வாயு நிலை மற்றும் திட நிலையின் இடைமுகத்தில் பிளாஸ்மா பாலிமரைசேஷனுக்கு உட்பட முடியும். மோனோமர் என்பது பிளாஸ்மா பாலிமரைசேஷனுக்கான முன்னோடியின் மூலமாகும், மேலும் உள்ளீட்டு வினை வாயு மற்றும் மோனோமர் ஒரு குறிப்பிட்ட தூய்மையைக் கொண்டிருக்க வேண்டும்.

(3) தூண்டுதல் சக்தி விநியோகத்தைத் தேர்ந்தெடுப்பது

பாலிமரைசேஷனுக்கான பிளாஸ்மா சூழலை வழங்குவதற்காக, DC, உயர் அதிர்வெண், RF அல்லது மைக்ரோவேவ் மின் மூலங்களைப் பயன்படுத்தி பிளாஸ்மாவை உருவாக்கலாம். மின் மூலத்தின் தேர்வு, பாலிமரின் கட்டமைப்பு மற்றும் செயல்திறனுக்கான தேவைகளின் அடிப்படையில் தீர்மானிக்கப்படுகிறது.

(4) வெளியேற்ற முறையைத் தேர்ந்தெடுத்தல்

பாலிமர் தேவைகளுக்காக, பிளாஸ்மா பாலிமரைசேஷன் தொடர்ச்சியான வெளியேற்றம் அல்லது துடிப்பு வெளியேற்றம் ஆகிய இரண்டு வெளியேற்ற முறைகளைத் தேர்ந்தெடுக்கலாம்.

(5) வெளியேற்ற அளவுருக்களைத் தேர்ந்தெடுத்தல்

பிளாஸ்மா பாலிமரைசேஷனை மேற்கொள்ளும்போது, ​​பிளாஸ்மா அளவுருக்கள், பாலிமர் பண்புகள் மற்றும் கட்டமைப்புத் தேவைகளிலிருந்து வெளியேற்ற அளவுருக்களைக் கருத்தில் கொள்ள வேண்டும். பாலிமரைசேஷனின் போது பயன்படுத்தப்படும் ஆற்றலின் அளவு, வெற்றிட அறையின் கொள்ளளவு, மின்முனையின் அளவு, மோனோமர் பாய்வு விகிதம் மற்றும் கட்டமைப்பு, பாலிமரைசேஷன் விகிதம், மற்றும் பாலிமரின் கட்டமைப்பு மற்றும் செயல்திறன் ஆகியவற்றால் தீர்மானிக்கப்படுகிறது. உதாரணமாக, வினை அறையின் கொள்ளளவு 1 லிட்டராகவும், RF பிளாஸ்மா பாலிமரைசேஷன் பயன்படுத்தப்பட்டால், வெளியேற்ற ஆற்றல் 10 முதல் 30 வாட் வரம்பில் இருக்கும். இத்தகைய சூழ்நிலைகளில், உருவாகும் பிளாஸ்மா, வேலைப் பொருளின் மேற்பரப்பில் ஒரு மெல்லிய படலத்தை உருவாக்க ஒன்றுசேர முடியும். பிளாஸ்மா பாலிமரைசேஷன் படலத்தின் வளர்ச்சி விகிதம், ஆற்றல் வழங்கல், மோனோமர் வகை மற்றும் பாய்வு விகிதம், மற்றும் செயல்முறை நிலைமைகளைப் பொறுத்து மாறுபடும். பொதுவாக, வளர்ச்சி விகிதம் 100 நானோமீட்டர்/நிமிடம் முதல் 1 மைக்ரோமீட்டர்/நிமிடம் வரை இருக்கும்.

(6) பிளாஸ்மா பாலிமரைசேஷனில் அளவுரு அளவீடு

பிளாஸ்மா பாலிமரைசேஷனில் அளவிடப்பட வேண்டிய பிளாஸ்மா அளவுருக்கள் மற்றும் செயல்முறை அளவுருக்களில் பின்வருவன அடங்கும்: வெளியேற்ற மின்னழுத்தம், வெளியேற்ற மின்னோட்டம், வெளியேற்ற அதிர்வெண், எலக்ட்ரான் வெப்பநிலை, அடர்த்தி, வினைக்குழு வகை மற்றும் செறிவு போன்றவை.

இந்தக் கட்டுரை குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா டெக்னாலஜி என்ற நிறுவனத்தால் வெளியிடப்பட்டது.ஒளியியல் பூச்சு இயந்திரங்களின் உற்பத்தியாளர்.