प्लाझ्मा थेट पॉलिमरायझेशन प्रक्रिया
अंतर्गत इलेक्ट्रोड पॉलिमरायझेशन उपकरण आणि बाह्य इलेक्ट्रोड पॉलिमरायझेशन उपकरण या दोन्हीसाठी प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशनची प्रक्रिया तुलनेने सोपी आहे, परंतु प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशनमध्ये पॅरामीटर निवड अधिक महत्त्वाची आहे, कारण प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशन दरम्यान पॉलिमर फिल्म्सच्या संरचनेवर आणि कार्यक्षमतेवर पॅरामीटर्सचा मोठा प्रभाव पडतो.
थेट प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशनच्या प्रक्रियेचे टप्पे खालीलप्रमाणे आहेत:
(1) व्हॅक्यूमिंग
निर्वात परिस्थितीत होणाऱ्या बहुलकीकरणासाठी पार्श्वभूमीतील निर्वात दाब १.३×१०⁻¹ पास्कलपर्यंत पंप केला पाहिजे. ज्या बहुलकीकरण अभिक्रियांमध्ये ऑक्सिजन किंवा नायट्रोजनचे प्रमाण नियंत्रित करण्यासाठी विशेष आवश्यकता असतात, त्यांच्यासाठी पार्श्वभूमीतील निर्वात दाबाची आवश्यकता आणखी जास्त असते.
(2) चार्ज रिॲक्शन मोनोमर किंवा कॅरियर गॅस आणि मोनोमरचा मिश्र वायू
निर्वाताची पातळी १३-१३० Pa असते. प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशनसाठी आवश्यक कार्यासाठी, योग्य प्रवाह नियंत्रण पद्धत आणि प्रवाह दर निवडला पाहिजे, जो साधारणपणे १०-१०० mL/min असतो. प्लाझ्मामध्ये, ऊर्जावान कणांच्या माऱ्याने मोनोमरचे रेणू आयनीकृत आणि विघटित होतात, ज्यामुळे आयन आणि सक्रिय जनुके यांसारखे सक्रिय कण तयार होतात. प्लाझ्माद्वारे सक्रिय झालेले हे सक्रिय कण वायू अवस्था आणि घन अवस्थेच्या आंतरपृष्ठावर प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशन प्रक्रियेतून जाऊ शकतात. मोनोमर हा प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशनसाठी पूर्वगामी घटकाचा स्रोत आहे, आणि अभिक्रियेसाठी वापरला जाणारा वायू व मोनोमर विशिष्ट शुद्धतेचे असणे आवश्यक आहे.
(3) उत्तेजन शक्ती पुरवठ्याची निवड
पॉलिमरायझेशनसाठी प्लाझ्मा वातावरण उपलब्ध करून देण्यासाठी डीसी, उच्च-फ्रिक्वेन्सी, आरएफ किंवा मायक्रोवेव्ह ऊर्जा स्रोतांचा वापर करून प्लाझ्मा निर्माण केला जाऊ शकतो. ऊर्जा पुरवठ्याची निवड पॉलिमरच्या संरचनेच्या आणि कार्यक्षमतेच्या आवश्यकतांवर आधारित ठरवली जाते.
(4) डिस्चार्ज मोडची निवड
पॉलिमरच्या गरजांसाठी, प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशनमध्ये दोन डिस्चार्ज मोड निवडता येतात: सतत डिस्चार्ज किंवा पल्स डिस्चार्ज.
(5) विसर्ग मापदंडांची निवड
प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशन करताना, प्लाझ्मा पॅरामीटर्स, पॉलिमरचे गुणधर्म आणि संरचनेच्या आवश्यकतांनुसार डिस्चार्ज पॅरामीटर्स विचारात घेणे आवश्यक असते. पॉलिमरायझेशन दरम्यान वापरल्या जाणाऱ्या पॉवरचे प्रमाण व्हॅक्यूम चेंबरचे आकारमान, इलेक्ट्रोडचा आकार, मोनोमरचा प्रवाह दर आणि संरचना, पॉलिमरायझेशनचा दर, आणि पॉलिमरची संरचना व कार्यक्षमता यांवरून ठरवले जाते. उदाहरणार्थ, जर रिॲक्शन चेंबरचे आकारमान 1L असेल आणि RF प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशनचा वापर केला जात असेल, तर डिस्चार्ज पॉवर 10~30W च्या दरम्यान असेल. अशा परिस्थितीत, निर्माण झालेला प्लाझ्मा एकत्र येऊन वर्कपीसच्या पृष्ठभागावर एक पातळ थर तयार करू शकतो. प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशन फिल्मच्या वाढीचा दर वीज पुरवठा, मोनोमरचा प्रकार आणि प्रवाह दर, आणि प्रक्रियेच्या परिस्थितीनुसार बदलतो. साधारणपणे, वाढीचा दर 100nm/min~1um/min असतो.
(6) प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशनमधील पॅरामीटर मापन
प्लाझ्मा पॉलिमरायझेशनमध्ये मोजल्या जाणाऱ्या प्लाझ्मा पॅरामीटर्स आणि प्रक्रिया पॅरामीटर्समध्ये यांचा समावेश होतो: डिस्चार्ज व्होल्टेज, डिस्चार्ज करंट, डिस्चार्ज फ्रिक्वेन्सी, इलेक्ट्रॉन तापमान, घनता, रिॲक्शन ग्रुपचा प्रकार आणि कॉन्सन्ट्रेशन, इत्यादी.
हा लेख ग्वांगडोंग झेनहुआ टेक्नॉलॉजीने प्रसिद्ध केला आहे,ऑप्टिकल कोटिंग मशीनचे उत्पादक.
पोस्ट करण्याची वेळ: मे-०५-२०२३