ຂະບວນການໂພລີເມີໄຣເຊຊັນໂດຍກົງຂອງພລາສມາ

ຂະບວນການໂພລີເມີໄຣເຊຊັນໂດຍກົງຂອງພລາສມາ

ຂະບວນການຂອງການໂພລີເມີໄຣເຊຊັນຂອງພລາສມາແມ່ນຂ້ອນຂ້າງງ່າຍດາຍສຳລັບທັງອຸປະກອນການໂພລີເມີໄຣເຊຊັນຂອງເອເລັກໂຕຣດພາຍໃນ ແລະ ອຸປະກອນການໂພລີເມີໄຣເຊຊັນຂອງເອເລັກໂຕຣດພາຍນອກ, ແຕ່ການເລືອກພາລາມິເຕີແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍໃນການໂພລີເມີໄຣເຊຊັນຂອງພລາສມາ, ເພາະວ່າພາລາມິເຕີມີຜົນກະທົບຫຼາຍຕໍ່ໂຄງສ້າງ ແລະ ປະສິດທິພາບຂອງຟິມໂພລີເມີໃນລະຫວ່າງການໂພລີເມີໄຣເຊຊັນຂອງພລາສມາ.

ຂັ້ນຕອນການດຳເນີນງານສຳລັບການໂພລີເມີໄຣເຊຊັນຂອງ plasma ໂດຍກົງມີດັ່ງນີ້:

(1) ການດູດຝຸ່ນ

ສູນຍາກາດພື້ນຫຼັງຂອງການໂພລີເມີໄຣເຊຊັນພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂສູນຍາກາດຄວນໄດ້ຮັບການສູບໃຫ້ມີ 1.3 × 10-1Pa. ສຳລັບປະຕິກິລິຍາໂພລີເມີໄຣເຊຊັນທີ່ຕ້ອງການຄວາມຕ້ອງການພິເສດສຳລັບການຄວບຄຸມປະລິມານອົກຊີເຈນ ຫຼື ໄນໂຕຣເຈນ, ຄວາມຕ້ອງການສູນຍາກາດພື້ນຫຼັງແມ່ນສູງກວ່າ.

(2) ໂມໂນເມີປະຕິກິລິຍາການສາກໄຟ ຫຼື ອາຍແກັສປະສົມຂອງອາຍແກັສຕົວນຳ ແລະ ໂມໂນເມີ

ລະດັບສູນຍາກາດແມ່ນ 13-130Pa. ສຳລັບການໂພລີເມີໄຣເຊຊັນໃນພລາສມາທີ່ຕ້ອງການວຽກງານ, ຮູບແບບການຄວບຄຸມການໄຫຼ ແລະ ອັດຕາການໄຫຼທີ່ເໝາະສົມຄວນຖືກເລືອກ, ໂດຍທົ່ວໄປແມ່ນ 10.100 ມລ/ນາທີ. ໃນພລາສມາ, ໂມເລກຸນໂມໂນເມີຈະຖືກໄອອອນໄນເຊຊັນ ແລະ ແຍກຕົວໂດຍການຖິ້ມລະເບີດຂອງອະນຸພາກທີ່ມີພະລັງງານ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ເກີດອະນຸພາກທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວເຊັ່ນ: ໄອອອນ ແລະ ຍີນທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວ. ອະນຸພາກທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວທີ່ຖືກກະຕຸ້ນໂດຍພລາສມາສາມາດຜ່ານການໂພລີເມີໄຣເຊຊັນໃນພລາສມາໄດ້ທີ່ຈຸດເຊື່ອມຕໍ່ຂອງໄລຍະອາຍແກັສ ແລະ ໄລຍະແຂງ. ໂມໂນເມີແມ່ນແຫຼ່ງຂອງສານຕັ້ງຕົ້ນສຳລັບການໂພລີເມີໄຣເຊຊັນໃນພລາສມາ, ແລະ ອາຍແກັສປະຕິກິລິຍາປ້ອນເຂົ້າ ແລະ ໂມໂນເມີຕ້ອງມີຄວາມບໍລິສຸດທີ່ແນ່ນອນ.

(3) ການເລືອກແຫຼ່ງພະລັງງານກະຕຸ້ນ

ພລາສມາສາມາດຜະລິດໄດ້ໂດຍໃຊ້ແຫຼ່ງພະລັງງານ DC, ຄວາມຖີ່ສູງ, RF, ຫຼື ໄມໂຄເວຟ ເພື່ອສະໜອງສະພາບແວດລ້ອມພລາສມາສຳລັບການໂພລີເມີໄຣເຊຊັນ. ການເລືອກແຫຼ່ງພະລັງງານແມ່ນຖືກກຳນົດໂດຍອີງໃສ່ຄວາມຕ້ອງການສຳລັບໂຄງສ້າງ ແລະ ປະສິດທິພາບຂອງໂພລີເມີ.

(4) ການເລືອກຮູບແບບການປ່ອຍປະຈຸ

ສຳລັບຄວາມຕ້ອງການຂອງໂພລີເມີ, ການໂພລີເມີໄຣເຊຊັນ Plasma ສາມາດເລືອກຮູບແບບການປ່ອຍອອກໄດ້ສອງແບບຄື: ການປ່ອຍອອກຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ ຫຼື ການປ່ອຍອອກແບບກຳມະຈອນ.

(5) ການເລືອກຕົວກໍານົດການລະບາຍ

ເມື່ອດຳເນີນການໂພລີເມີໄຣເຊຊັນຂອງພລາສມາ, ຕົວກຳນົດການລະບາຍຕ້ອງໄດ້ຮັບການພິຈາລະນາຈາກຕົວກຳນົດການພລາສມາ, ຄຸນສົມບັດຂອງໂພລີເມີ ແລະ ຄວາມຕ້ອງການຂອງໂຄງສ້າງ. ຂະໜາດຂອງພະລັງງານທີ່ໃຊ້ໃນລະຫວ່າງການໂພລີເມີໄຣເຊຊັນແມ່ນຖືກກຳນົດໂດຍປະລິມານຂອງຫ້ອງສູນຍາກາດ, ຂະໜາດຂອງເອເລັກໂຕຣດ, ອັດຕາການໄຫຼ ແລະ ໂຄງສ້າງຂອງໂມໂນເມີ, ອັດຕາການໂພລີເມີໄຣເຊຊັນ, ແລະ ໂຄງສ້າງ ແລະ ປະສິດທິພາບຂອງໂພລີເມີ. ຕົວຢ່າງ, ຖ້າປະລິມານຫ້ອງປະຕິກິລິຍາແມ່ນ 1 ລິດ ແລະ ການນຳໃຊ້ໂພລີເມີໄຣເຊຊັນຂອງພລາສມາ RF, ພະລັງງານລະບາຍຈະຢູ່ໃນລະດັບ 10~30W. ພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂດັ່ງກ່າວ, ພລາສມາທີ່ຜະລິດອອກມາສາມາດລວມຕົວກັນເພື່ອສ້າງຟິມບາງໆຢູ່ເທິງໜ້າດິນຂອງຊິ້ນວຽກ. ອັດຕາການເຕີບໂຕຂອງຟິມໂພລີເມີໄຣເຊຊັນຂອງພລາສມາແຕກຕ່າງກັນໄປຕາມການສະໜອງພະລັງງານ, ປະເພດໂມໂນເມີ ແລະ ອັດຕາການໄຫຼ, ແລະ ເງື່ອນໄຂຂອງຂະບວນການ. ໂດຍທົ່ວໄປ, ອັດຕາການເຕີບໂຕແມ່ນ 100nm/ນາທີ~1um/ນາທີ.

(6) ການວັດແທກພາລາມິເຕີໃນການໂພລີເມີໄຣເຊຊັນຂອງພລາສມາ

ພາລາມິເຕີຂອງ plasma ແລະ ພາລາມິເຕີຂອງຂະບວນການທີ່ຕ້ອງໄດ້ວັດແທກໃນການໂພລີເມີໄຣເຊຊັນຂອງ Plasma ປະກອບມີ: ແຮງດັນໄຟຟ້າທີ່ປ່ອຍອອກມາ, ກະແສໄຟຟ້າທີ່ປ່ອຍອອກມາ, ຄວາມຖີ່ຂອງການປ່ອຍອອກມາ, ອຸນຫະພູມອີເລັກຕຣອນ, ຄວາມໜາແໜ້ນ, ປະເພດກຸ່ມປະຕິກິລິຍາ ແລະ ຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນ, ແລະອື່ນໆ.

——ບົດຄວາມນີ້ຖືກເຜີຍແຜ່ໂດຍ Guangdong Zhenhua Technology, ເຊິ່ງເປັນຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງເຄືອບແສງ.