پلازما بىۋاسىتە پولىمېرلىشىش جەريانى

پلازما بىۋاسىتە پولىمېرلىشىش جەريانى

پلازما پولىمېرلىشىش جەريانى ئىچكى ئېلېكترود پولىمېرلىشىش ئۈسكۈنىلىرى ۋە سىرتقى ئېلېكترود پولىمېرلىشىش ئۈسكۈنىلىرى ئۈچۈن نىسبەتەن ئاددىي، ئەمما پارامېتىر تاللاش پلازما پولىمېرلىشىشتا تېخىمۇ مۇھىم، چۈنكى پارامېتىرلار پلازما پولىمېرلىشىش جەريانىدا پولىمېر پەردىلىرىنىڭ قۇرۇلمىسى ۋە ئىقتىدارىغا تېخىمۇ چوڭ تەسىر كۆرسىتىدۇ.

بىۋاسىتە پلازما پولىمېرلىشىشىنىڭ مەشغۇلات باسقۇچلىرى تۆۋەندىكىچە:

(1) چاڭ-توزان سۈمۈرۈش

ۋاكۇئۇم شارائىتىدىكى پولىمېرلىشىشنىڭ ئارقا كۆرۈنۈش ۋاكۇئۇمى 1.3×10-1Pa غا يەتكۈزۈلۈشى كېرەك. ئوكسىگېن ياكى ئازوت مىقدارىنى كونترول قىلىش ئۈچۈن ئالاھىدە تەلەپلەرنى تەلەپ قىلىدىغان پولىمېرلىشىش رېئاكسىيەلىرى ئۈچۈن، ئارقا كۆرۈنۈش ۋاكۇئۇمى تەلىپى تېخىمۇ يۇقىرى بولىدۇ.

(2) زەرەت رېئاكسىيەسى مونومېرى ياكى توشۇغۇچى گاز بىلەن مونومېرنىڭ ئارىلاشما گازى

ۋاكۇئۇم دەرىجىسى 13-130Pa. پلازما پولىمېرلىشىشى ئۈچۈن، ئادەتتە 10.100mL/min مۇۋاپىق ئېقىم كونترول قىلىش ئۇسۇلى ۋە ئېقىم سۈرئىتى تاللىنىشى كېرەك. پلازمادا، مونومېر مولېكۇلاسى ئېنېرگىيىلىك زەررىچىلەرنىڭ بومباردىمان قىلىنىشى ئارقىلىق ئىئونلاشتۇرۇلۇپ، پارچىلىنىپ، ئىئون ۋە ئاكتىپ گېن قاتارلىق ئاكتىپ زەررىچىلەرنى ھاسىل قىلىدۇ. پلازما ئارقىلىق ئاكتىپلاشتۇرۇلغان ئاكتىپ زەررىچىلەر گاز باسقۇچى ۋە قاتتىق باسقۇچنىڭ چېگرىسىدا پلازما پولىمېرلىشىشىغا ئۇچرايدۇ. مونومېر پلازما پولىمېرلىشىشىنىڭ ئالدىنقى مەنبەسى بولۇپ، كىرىش رېئاكسىيەسى گازى ۋە مونومېر بەلگىلىك ساپلىققا ئىگە بولۇشى كېرەك.

(3) قوزغىتىش توك مەنبەسىنى تاللاش

پلازما پولىمېرلىشىش ئۈچۈن پلازما مۇھىتى بىلەن تەمىنلەش ئۈچۈن DC، يۇقىرى چاستوتا، RF ياكى مىكرو دولقۇنلۇق توك مەنبەلىرى ئارقىلىق ھاسىل قىلىنىدۇ. توك بىلەن تەمىنلەشنىڭ تاللىنىشى پولىمېرنىڭ قۇرۇلمىسى ۋە ئىقتىدارىغا بولغان تەلەپلەرگە ئاساسەن بېكىتىلىدۇ.

(4) چىقىرىش ھالىتىنى تاللاش

پولىمېر تەلىپى ئۈچۈن، پلازما پولىمېرلىشىشى ئىككى خىل قويۇپ بېرىش ھالىتىنى تاللىيالايدۇ: ئۈزلۈكسىز قويۇپ بېرىش ياكى ئىمپۇلس قويۇپ بېرىش.

(5) چىقىرىش پارامېتىرلىرىنى تاللاش

پلازما پولىمېرلاشتۇرۇش جەريانىدا، پلازما پارامېتىرلىرى، پولىمېر خۇسۇسىيىتى ۋە قۇرۇلما تەلىپىدىن پايدىلىنىپ، چىقىرىش پارامېتىرلىرىنى ئويلىشىش كېرەك. پولىمېرلاشتۇرۇش جەريانىدا قوللىنىلغان قۇۋۋەتنىڭ چوڭلۇقى ۋاكۇئۇم كامېراسىنىڭ ھەجىمى، ئېلېكترود چوڭلۇقى، مونومېر ئېقىم سۈرئىتى ۋە قۇرۇلمىسى، پولىمېرلىشىش سۈرئىتى، پولىمېر قۇرۇلمىسى ۋە ئىقتىدارى بىلەن بەلگىلىنىدۇ. مەسىلەن، ئەگەر رېئاكسىيە كامېراسىنىڭ ھەجىمى 1L بولسا ۋە رادىئو چاستوتا پلازما پولىمېرلاشتۇرۇش قوللىنىلسا، چىقىرىش قۇۋۋىتى 10 ~ 30W ئارىلىقىدا بولىدۇ. بۇنداق شارائىتتا، ھاسىل بولغان پلازما بىرلىشىپ، ئىشلەنگەن بۇيۇمنىڭ يۈزىدە نېپىز پەردە ھاسىل قىلالايدۇ. پلازما پولىمېرلىشىش پەردىسىنىڭ ئۆسۈش سۈرئىتى توك بىلەن تەمىنلەش، مونومېر تىپى ۋە ئېقىم سۈرئىتى، شۇنداقلا جەريان شارائىتىغا ئاساسەن ئوخشىمايدۇ. ئادەتتە، ئۆسۈش سۈرئىتى 100nm/min ~ 1um/min بولىدۇ.

(6) پلازما پولىمېرلىشىشىدىكى پارامېتىر ئۆلچەش

پلازما پولىمېرلىشىشىدا ئۆلچەنىدىغان پلازما پارامېتىرلىرى ۋە جەريان پارامېتىرلىرى تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ: چىقىرىش توك بېسىمى، چىقىرىش ئېقىمى، چىقىرىش چاستوتىسى، ئېلېكترون تېمپېراتۇرىسى، زىچلىقى، رېئاكسىيە گۇرۇپپىسىنىڭ تىپى ۋە قويۇقلۇقى قاتارلىقلار.

——بۇ ماقالە گۇاڭدۇڭ جېنخۇا تېخنىكا شىركىتى تەرىپىدىن ئېلان قىلىندىئوپتىكىلىق قاپلاش ماشىنىلىرى ئىشلەپچىقارغۇچى.