Ion şöhlesiniň kömegi bilen çökdürmek tehnologiýasy, ion şöhlelerini sanjym etmek we bug çökdürmek örtük tehnologiýasy, ionyň üstki kompozit gaýtadan işlemek tehnologiýasy bilen utgaşdyrylýar. Ion sanjylýan materiallaryň ýerüsti üýtgemegi prosesinde, ýarymgeçiriji materiallar bolsun ýa-da in engineeringenerçilik materiallary bolsun, köplenç üýtgedilen gatlagyň galyňlygynyň ion implantasiýasyndan has uly bolmagy islenýär, ýöne üýtgedilen gatlak we ýiti interfeýsiň arasyndaky substrat ýaly ion sanjym prosesiniň artykmaçlyklaryny saklamak isleýär we ş.m. Şonuň üçin ion implantasiýasyny örtük tehnologiýasy bilen birleşdirip, örtük wagtynda belli bir energiýa bilen ionlar film bilen substratyň interfeýsine yzygiderli sanjylýar we interfeýsara atomlar kaskad çaknyşyklarynyň kömegi bilen garylyp, film bilen substratyň arasyndaky baglanyşyk güýjüni gowulandyrmak üçin başlangyç interfeýsiň golaýynda atom garyşyk geçiş zolagyny emele getirýär. Soňra, atom garyşyk zolagynda zerur galyňlygy we häsiýetleri bolan film ion şöhlesiniň gatnaşmagynda ösmegini dowam etdirýär.
Muňa ion implantasiýa prosesiniň aýratynlyklaryny saklaýan Ion Beam Assisted Deposition (IBED) diýilýär, substratyň substratdan düýpgöter tapawutly inçe film materialy bilen örtülmegine mümkinçilik berýär.
Ion şöhlesiniň kömegi bilen aşakdaky artykmaçlyklar bar.
(1) Ion şöhlesiniň kömegi bilen gaz çykarylmazdan plazma döredýändigi sebäpli, örtük <10-2 Pa basyşda, gazyň hapalanmagyny azaldyp biler.
(2) Esasy proses parametrleri (ion energiýasy, ion dykyzlygy) elektrikdir. Adatça gaz akymyna we elektrik däl beýleki parametrlere gözegçilik etmegiň zerurlygy ýok, film gatlagynyň ösüşine aňsatlyk bilen gözegçilik edip bilersiňiz, filmiň düzümini we gurluşyny sazlap bilersiňiz, prosesiň gaýtalanmagyny üpjün etmek aňsat.
(3) Iş böleginiň üstüni substratdan düýpgöter tapawutly film bilen örtüp bolýar we galyňlygy pes temperaturada bombalanan ionlaryň energiýasy bilen çäklenmeýär (<200 ℃). Dopirlenen funksional filmleri, sowuk işlenip düzülen takyk galyplary we pes temperaturaly gurluş polatdan ýerüsti bejermek üçin amatly.
(4) Bu, otag temperaturasynda dolandyrylýan deňagramsyzlyk prosesi. Roomokary temperaturaly fazalar, çalşylýan fazalar, amorf erginler we ş.m. ýaly täze işleýän filmleri otag temperaturasynda alyp bolýar.
Ion şöhlesiniň kömek edýän çökgünliginiň kemçilikleri.
(1) Ion şöhlesiniň göni radiasiýa aýratynlyklary barlygy sebäpli, iş böleginiň çylşyrymly ýer görnüşi bilen iş salyşmak kyn
(2) Ion şöhle akymynyň ululygynyň çäklendirilmegi sebäpli uly we uly meýdan eserleri bilen iş salyşmak kyn.
.
IsBu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua
Iş wagty: Noýabr-16-2023