Vakuumindunstningsbeläggning (kallad evaporationcoating) sker i vakuummiljö där filmmaterialet upphettas av förångaren för att förgasas. Partikelströmmen från filmmaterialet avdunstar direkt på substratet och substratavsättning sker, vilket leder till en fast filmteknik. Vakuumindunstning är PVD-teknikens tidigaste och mest använda teknik för stadfilmning. Även om sputtering och jonplätering har utvecklats senare i många avseenden är överlägsna vakuumindunstning, har vakuumindunstningstadfilmtekniken fortfarande många fördelar. Utrustningen och processen är relativt enkel, både för avsättning av mycket ren film och för framställning av filmskikt med specifika strukturer och egenskaper. De största nackdelarna med denna metod är att det inte är lätt att få fram filmer med kristallin struktur, filmens vidhäftning till substratet är liten och processens repeterbarhet inte är tillräckligt god.
Under senare år, på grund av elektronbombardemangsavdunstning, högfrekvent induktionsavdunstning, såväl som laseravdunstning och andra tekniker inom vakuumavdunstningsbeläggningsteknik i den allmänna tillämpningen av tekniken, så att denna teknik är mer perfekt och används i stor utsträckning inom maskiner, elektriskt vakuum, radio, optik, atomenergi för att hitta staden.
Publiceringstid: 17 augusti 2023