ОПИС ПРОИЗВОДА

Предност опреме

1. Оптимизација премазивања дубоких рупа

Ексклузивна технологија премазивања дубоких рупа: Технологија премазивања дубоких рупа коју је развила компанија Zhenhua Vacuum може постићи супериорни однос ширине и висине од 10:1 чак и за ситне отворе величине само 30 микрометара, превазилазећи изазове премазивања сложених структура дубоких рупа.

2. Прилагодљиво, подржава различите величине

Подржава стаклене подлоге различитих величина, укључујући спецификације 600×600 мм / 510×515 мм или веће.

3. Флексибилност процеса, компатибилност са више материјала

Опрема је компатибилна са проводљивим или функционалним танкослојним материјалима као што су Cu, Ti, W, Ni и Pt, задовољавајући различите потребе примене за проводљивошћу и отпорношћу на корозију.

4. Стабилне перформансе опреме, лако одржавање

Опрема је опремљена интелигентним системом управљања који омогућава аутоматско подешавање параметара и праћење уједначености дебљине филма у реалном времену; усваја модуларни дизајн за лако одржавање, смањујући време застоја.

Примена:Може се користити за напредно паковање TGV/TSV/TMV, способно за постизање премаза слојем семена дубоких рупа са односом ширине и висине ≥10:1.