ОПИС ПРОИЗВОДА

Предност опреме

1. Скалабилна функционална конфигурација

Користећи модуларни архитектурни дизајн, подржава масовне брзе производне режиме, омогућавајући брзо додавање, уклањање и реорганизацију функционалних комора. Распоред производне линије може се флексибилно прилагодити потребама производње.

2. Решење за прецизну технологију премазивања

Иновативно коришћење технологије распршивања мете ротирајућег типа под малим углом у комбинацији са оптимизованим решењем магнетног поља за постизање ефикасног попуњавања структура кроз рупе.

3. Усвајање ротирајуће циљне структуре

Ова структура смањује губитак материјала за премаз и побољшава искоришћење материјала мете. Такође смањује циклус замене мете, чиме се повећава ефикасност производње.

4. Предности контроле процеса

Оптимизацијом параметара магнетронског распршивања и технологијом двостраног синхроног наношења, ефикасност премазивања сложених структурних компоненти је значајно побољшана, док је стопа губитка материјала смањена.

Примена:Способан је за припрему различитих слојева металних филмова од једног елемента као што су Ti, Cu, Al, Sn, Cr, Ag, Ni итд. Широко се користи у полупроводничким електронским компонентама, као што су DPC керамичке подлоге, керамички кондензатори, термистори, LED керамичке носаче итд.