Avantazhi i pajisjeve
1. Optimizimi i veshjes së vrimave të thella
Teknologjia Ekskluzive e Veshjes së Vrimave të Thella: Teknologjia e veshjes së vrimave të thella e zhvilluar nga Zhenhua Vacuum mund të arrijë një raport të lartë aspekti prej 10:1 edhe për hapje të vogla deri në 30 mikrometra, duke kapërcyer sfidat e veshjes së strukturave komplekse të vrimave të thella.
2. I personalizueshëm, mbështet madhësi të ndryshme
Mbështet substrate qelqi me madhësi të ndryshme, duke përfshirë specifikimet 600×600mm / 510×515mm ose më të mëdha.
3. Fleksibilitet në proces, i pajtueshëm me materiale të shumëfishta
Pajisja është e pajtueshme me materiale përçuese ose funksionale me film të hollë si Cu, Ti, W, Ni dhe Pt, duke përmbushur nevojat e ndryshme të aplikimit për përçueshmëri dhe rezistencë ndaj korrozionit.
4. Performancë e qëndrueshme e pajisjeve, mirëmbajtje e lehtë
Pajisja është e pajisur me një sistem inteligjent kontrolli që mundëson rregullimin automatik të parametrave dhe monitorimin në kohë reale të uniformitetit të trashësisë së filmit; ajo përdor një dizajn modular për mirëmbajtje të lehtë, duke zvogëluar kohën e ndërprerjes së punës.
Aplikimi:Mund të përdoret për paketim të avancuar TGV/TSV/TMV, i aftë të arrijë veshjen e shtresës së farës në vrima të thella me një raport aspekti ≥10:1.