Procesi i polimerizimit të drejtpërdrejtë të plazmës

Procesi i polimerizimit të drejtpërdrejtë të plazmës

Procesi i polimerizimit me plazmë është relativisht i thjeshtë si për pajisjet e polimerizimit me elektroda të brendshme ashtu edhe për pajisjet e polimerizimit me elektroda të jashtme, por përzgjedhja e parametrave është më e rëndësishme në polimerizimin me plazmë, sepse parametrat kanë një ndikim më të madh në strukturën dhe performancën e filmave polimer gjatë polimerizimit me plazmë.

Hapat e operacionit për polimerizimin direkt të plazmës janë si më poshtë:

(1) Fshirje me fshesë me korrent

Vakumi në sfond i polimerizimit në kushte vakumi duhet të pompohet në 1.3×10-1Pa. Për reaksionet e polimerizimit që kërkojnë kërkesa të veçanta për kontrollin e përmbajtjes së oksigjenit ose azotit, kërkesa për vakum në sfond është edhe më e lartë.

(2) Monomer i reaksionit të ngarkesës ose gaz i përzier i gazit bartës dhe monomerit

Shkalla e vakumit është 13-130Pa. Për polimerizimin me plazmë që kërkon punë, duhet të zgjidhet mënyra e duhur e kontrollit të rrjedhjes dhe shpejtësia e rrjedhjes, përgjithësisht 10.100mL/min. Në plazmë, molekulat e monomerit jonizohen dhe shkëputen nga bombardimi i grimcave energjike, duke rezultuar në grimca aktive si jonet dhe gjenet aktive. Grimcat aktive të aktivizuara nga plazma mund t'i nënshtrohen polimerizimit me plazmë në ndërfaqen e fazës së gaztë dhe fazës së ngurtë. Monomeri është burimi i pararendësit për polimerizimin me plazmë, dhe gazi i reagimit hyrës dhe monomeri duhet të kenë një pastërti të caktuar.

(3) Përzgjedhja e furnizimit me energji ngacmuese

Plazma mund të gjenerohet duke përdorur burime energjie DC, me frekuencë të lartë, RF ose mikrovalë për të siguruar një mjedis plazme për polimerizim. Përzgjedhja e furnizimit me energji përcaktohet bazuar në kërkesat për strukturën dhe performancën e polimerit.

(4) Përzgjedhja e mënyrës së shkarkimit

Për kërkesat e polimerëve, polimerizimi me plazmë mund të zgjedhë dy mënyra shkarkimi: shkarkim i vazhdueshëm ose shkarkim pulsiv.

(5) Përzgjedhja e parametrave të shkarkimit

Gjatë kryerjes së polimerizimit me plazmë, parametrat e shkarkimit duhet të merren në konsideratë nga parametrat e plazmës, vetitë e polimerit dhe kërkesat e strukturës. Madhësia e fuqisë së aplikuar gjatë polimerizimit përcaktohet nga vëllimi i dhomës së vakumit, madhësia e elektrodës, shkalla dhe struktura e rrjedhjes së monomerit, shkalla e polimerizimit dhe struktura dhe performanca e polimerit. Për shembull, nëse vëllimi i dhomës së reagimit është 1L dhe përdoret polimerizimi me plazmë RF, fuqia e shkarkimit do të jetë në rangun e 10~30W. Në kushte të tilla, plazma e gjeneruar mund të grumbullohet për të formuar një film të hollë në sipërfaqen e copës së punës. Shkalla e rritjes së filmit të polimerizimit me plazmë ndryshon në varësi të furnizimit me energji, llojit dhe shkallës së rrjedhjes së monomerit, si dhe kushteve të procesit. Në përgjithësi, shkalla e rritjes është 100nm/min~1um/min.

(6) Matja e parametrave në polimerizimin me plazmë

Parametrat e plazmës dhe parametrat e procesit që duhen matur në polimerizimin me plazmë përfshijnë: tensionin e shkarkimit, rrymën e shkarkimit, frekuencën e shkarkimit, temperaturën e elektroneve, dendësinë, llojin dhe përqendrimin e grupit të reagimit, etj.

——Ky artikull u publikua nga Guangdong Zhenhua Technology, njëprodhues i makinave të veshjes optike.