Аксари унсурҳои кимиёвиро бо роҳи якҷоя кардани онҳо бо гурӯҳҳои кимиёвӣ бухор кардан мумкин аст, масалан, Si бо H реаксия карда, SiH4-ро ташкил медиҳад ва Al бо CH3 якҷоя шуда, Al(CH3)-ро ташкил медиҳад. Дар раванди гармии CVD, газҳои дар боло зикршуда ҳангоми гузаштан аз субстрати гармшуда миқдори муайяни энергияи гармиро фурӯ мебаранд ва дубора...