Maqaarka magnetron-ka ee faakuumka ayaa si gaar ah ugu habboon dahaarka kaydinta falcelinta. Dhab ahaantii, habkani wuxuu dhigi karaa filimaan khafiif ah oo ka mid ah walxaha oksaydhka, carbide, iyo nitride. Intaa waxaa dheer, habkani wuxuu sidoo kale si gaar ah ugu habboon yahay dhigista qaab-dhismeedka filimada lakabka badan leh, oo ay ku jiraan naqshadaha indhaha, filimada midabka, dahaarka u adkaysta xirashada, nano-laminates, dahaarka superlattice, filimada dahaarka leh, iwm. Horraantii 1970, tusaalooyin kaydin filim oo tayo sare leh ayaa loo sameeyay noocyo kala duwan oo ah agabyada lakabka filimka indhaha. Agabkan waxaa ka mid ah agab hufan oo gudbiya, semiconductors, polymers, oksaydhyo, carbide, iyo nitrides, halka fluorides loo isticmaalo hababka sida dahaarka uumiga.
Faa'iidada ugu weyn ee habka xoqidda magnetron waa isticmaalka hababka dahaarka falcelinta ama aan falcelinta lahayn si loo dhigo lakabyada agabkan iyo si fiican loo xakameeyo halabuurka lakabka, dhumucda filimka, isku mid ahaanshaha dhumucda filimka iyo sifooyinka farsamada ee lakabka. Hawshu waxay leedahay astaamaha soo socda.
1, Heerka dhigaalka weyn. Iyada oo loo marayo isticmaalka elektroodhada magnetron-ka xawaaraha sare leh, socodka ion-ka weyn ayaa la heli karaa, taasoo si wax ku ool ah u hagaajinaysa heerka dhigaalka iyo heerka xoqidda ee habkan dahaadhka ah. Marka la barbar dhigo hababka kale ee dahaarka xoqidda, xoqidda magnetron-ku waxay leedahay awood sare iyo wax soo saar sare, waxaana si weyn loogu isticmaalaa wax soo saarka warshadaha kala duwan.
2, Hufnaan awood sare leh. Bartilmaameedka xoqidda magnetron guud ahaan wuxuu doortaa danab ku jira xadka 200V-1000V, badanaa waa 600V, sababtoo ah danab 600V wuxuu ku jiraa heerka ugu sarreeya ee hufnaanta awoodda.
3. Tamar yar oo ku faafta. Danabka bartilmaameedka magnetron-ka ayaa hoos loo dhigaa, goobta birlabtana waxay ku xidhaa balaasmaha u dhow cathode-ka, taasoo ka hortagaysa in walxaha tamarta sare leh ay ku soo baxaan substrate-ka.
4, Heerkulka substrate-ka oo hooseeya. Anode-ka waxaa loo isticmaali karaa in lagu hago elektaroonada la soo saaro inta lagu jiro sii deynta, looma baahna taageerada substrate-ka si loo dhammaystiro, taas oo si wax ku ool ah u yarayn karta duqeynta elektarooniga ee substrate-ka. Sidaas darteed heerkulka substrate-ku waa hooseeyaa, kaas oo aad ugu habboon qaar ka mid ah substrate-yada balaastikada ah ee aan aad u adkeysan karin dahaarka heerkulka sare.
5, Qalinjabinta dusha sare ee bartilmaameedka ah ee Magnetron ma aha mid isku mid ah. Qalinjabinta dusha sare ee bartilmaameedka ah ee Magnetron oo aan sinnayn waxaa sababa goobta birlabta ee aan sinnayn ee bartilmaameedka. Goobta heerka qalinjabinta bartilmaameedka ayaa ka weyn, sidaa darteed heerka isticmaalka waxtarka leh ee bartilmaameedka ayaa hooseeya (kaliya heerka isticmaalka 20-30%). Sidaa darteed, si loo hagaajiyo isticmaalka bartilmaameedka, qaybinta goobta birlabta ayaa loo baahan yahay in lagu beddelo habab gaar ah, ama isticmaalka birlabta ku socota cathode-ka ayaa sidoo kale hagaajin kara isticmaalka bartilmaameedka.
6、Bartilmaameed isku dhafan. Waxay samayn kartaa filim dahaadh ah oo isku dhafan. Waqtigan xaadirka ah, isticmaalka habka isku-darka magnetron-ka bartilmaameedka ah ayaa si guul leh loogu dahaadhay dahaadh Ta-Ti, (Tb-Dy)-Fe iyo filimka dahaadh Gb-Co. Qaab-dhismeedka bartilmaameedka isku dhafan wuxuu leeyahay afar nooc, siday u kala horreeyaan, waa bartilmaameed wareegsan oo gudaha ah, bartilmaameed laba jibbaaran oo gudaha ah, bartilmaameed yar oo laba jibbaaran oo gudaha ah iyo bartilmaameed qaybeed. Isticmaalka qaab-dhismeedka bartilmaameedka qaybta gudaha ah ayaa ka wanaagsan.
7. Adeegsiyo kala duwan. Habka xoqidda magnetron wuxuu dhigi karaa walxo badan, kuwa caadiga ah waa: Ag, Au, C, Co, Cu, Fe, Ge, Mo, Nb, Ni, Os, Cr, Pd, Pt, Re, Rh, Si, Ta, Ti, Zr, SiO, AlO, GaAs, U, W, SnO, iwm.
Magnetron sputtering waa mid ka mid ah hababka dahaarka ugu badan ee loo isticmaalo si loo helo filimaan tayo sare leh. Iyada oo leh katoodh cusub, waxay leedahay isticmaal bartilmaameed sare leh iyo heer kaydin sare. Habka dahaarka magnetron sputtering ee Guangdong Zhenhua Technology ayaa hadda si weyn loogu isticmaalaa dahaarka substrate-ka aag ballaaran. Habkani looma isticmaalo oo keliya dhigista filimka hal lakab ah, laakiin sidoo kale dahaarka filimka lakabka badan leh, marka lagu daro, waxaa sidoo kale loo isticmaalaa habka duubista si loo duubo filimka baakadaha, filimka indhaha, dahaarka iyo dahaarka filimka kale.
Waqtiga boostada: Maajo-31-2024