Vakuumsko naparjanje (imenovano tudi naparjanje z izhlapevanjem) poteka v vakuumskem okolju, kjer se filmski material segreje v uparjalniku, da se uplinja. Izhlapevanje delcev filmskega materiala neposredno na substrat in nanašanje substrata, s čimer se tvori tehnologija trdnega filma. Vakuumsko naparjanje je bila najzgodnejša in najširše uporabljena tehnologija nanosa trdnega filma v razvoju. Čeprav sta se kasneje razvila razprševanje in ionsko nanašanje, ima vakuumsko naparjanje v mnogih pogledih veliko prednosti, saj ima tehnologija nanosa trdnega filma v vakuumskem naparjanju še vedno veliko prednosti, kot so relativno preprosta oprema in postopek, saj omogoča nanašanje zelo čistega filma, hkrati pa omogoča pripravo filmske plasti s specifično strukturo in lastnostmi. Glavne pomanjkljivosti te metode so, da ni enostavno dobiti filmov s kristalno strukturo, oprijem filma na substrat je majhen in ponovljivost postopka ni dovolj dobra.
V zadnjih letih se je tehnologija vakuumskega izhlapevanja zaradi bombardiranja z elektroni, visokofrekvenčnega indukcijskega izhlapevanja ter laserskega izhlapevanja in drugih tehnologij v splošni uporabi tehnologije vakuumskega izhlapevanja izkazala za bolj popolno in se pogosto uporablja v strojih, električnem vakuumu, radiu, optiki in atomski energiji.
Čas objave: 17. avg. 2023