Преимущества оборудования
1. Масштабируемая функциональная конфигурация
Благодаря модульной архитектуре, система поддерживает режимы массового быстрого производства, позволяя оперативно добавлять, удалять и перестраивать функциональные отсеки. Компоновка производственной линии может гибко корректироваться в соответствии с производственными потребностями.
2. Решение на основе технологии прецизионного нанесения покрытий
Инновационное применение технологии распыления с малоугловым вращением мишени в сочетании с оптимизированным решением для магнитного поля позволяет добиться эффективного заполнения сквозных отверстий в структурах.
3. Применение вращающейся мишенной конструкции
Такая конструкция позволяет избежать потерь материала покрытия и повысить эффективность использования материала мишени. Она также сокращает цикл замены мишени, тем самым повышая эффективность производства.
4. Преимущества управления технологическими процессами
Благодаря оптимизации параметров магнетронного распыления и технологии двухстороннего синхронного осаждения, значительно повышается эффективность нанесения покрытий на сложные конструкционные элементы, при этом снижается скорость потери материала.
Приложение:Способен создавать различные одноэлементные металлические пленочные слои, такие как Ti, Cu, Al, Sn, Cr, Ag, Ni и др. Широко используется в полупроводниковых электронных компонентах, таких как керамические подложки DPC, керамические конденсаторы, терморезисторы, керамические кронштейны для светодиодов и т. д.