Преимущество оборудования
1. Оптимизация покрытия глубоких отверстий
Эксклюзивная технология нанесения покрытия на глубокие отверстия: собственная разработка Zhenhua Vacuum — технология нанесения покрытия на глубокие отверстия — позволяет добиться превосходного соотношения сторон 10:1 даже для крошечных отверстий размером всего 30 микрометров, что позволяет преодолеть трудности нанесения покрытия на сложные конструкции с глубокими отверстиями.
2. Настраиваемый, поддерживает разные размеры
Поддерживает стеклянные подложки различных размеров, включая 600×600 мм / 510×515 мм и более.
3. Гибкость процесса, совместимость с различными материалами
Оборудование совместимо с проводящими или функциональными тонкопленочными материалами, такими как Cu, Ti, W, Ni и Pt, что соответствует различным требованиям к проводимости и коррозионной стойкости.
4. Стабильная работа оборудования, простота обслуживания
Оборудование оснащено интеллектуальной системой управления, которая обеспечивает автоматическую настройку параметров и мониторинг однородности толщины пленки в режиме реального времени; оно имеет модульную конструкцию, что упрощает обслуживание и сокращает время простоя.
Приложение:Может использоваться для усовершенствованной упаковки TGV/TSV/TMV, способной обеспечить покрытие глубоких отверстий затравочным слоем с соотношением сторон ≥10:1.