Zaleta sprzętu
1. Optymalizacja powłok głębokich otworów
Ekskluzywna technologia powlekania głębokich otworów: opracowana przez Zhenhua Vacuum technologia powlekania głębokich otworów pozwala na osiągnięcie doskonałego współczynnika kształtu wynoszącego 10:1 nawet w przypadku bardzo małych otworów o średnicy zaledwie 30 mikrometrów, co pozwala na pokonanie problemów związanych z powlekaniem złożonych struktur głębokich otworów.
2. Możliwość dostosowania, obsługuje różne rozmiary
Obsługuje podłoża szklane o różnych rozmiarach, w tym 600×600 mm / 510×515 mm i większe.
3. Elastyczność procesu, kompatybilność z wieloma materiałami
Urządzenie jest kompatybilne z przewodzącymi lub funkcjonalnymi materiałami cienkowarstwowymi, takimi jak Cu, Ti, W, Ni i Pt, spełniając różne potrzeby zastosowań w zakresie przewodności i odporności na korozję.
4. Stabilna wydajność sprzętu, łatwa konserwacja
Urządzenie wyposażone jest w inteligentny system sterowania, który umożliwia automatyczną regulację parametrów i monitorowanie w czasie rzeczywistym jednorodności grubości powłoki. Ma modułową konstrukcję, która ułatwia konserwację i redukuje przestoje.
Aplikacja:Można go stosować do zaawansowanych opakowań TGV/TSV/TMV, umożliwiając uzyskanie głębokiej warstwy powłoki o współczynniku kształtu ≥10:1.