OPIS PRODUKTU

Zaleta sprzętu

1. Skalowalna konfiguracja funkcjonalna

Wykorzystując modułową architekturę, obsługuje tryby masowej, szybkiej produkcji, umożliwiając szybkie dodawanie, usuwanie i reorganizację komór funkcjonalnych. Układ linii produkcyjnej można elastycznie dostosowywać do potrzeb produkcyjnych.

2. Rozwiązanie w zakresie technologii precyzyjnego powlekania

Innowacyjne zastosowanie technologii rozpylania małokątowego z wirującą tarczą w połączeniu ze zoptymalizowanym rozwiązaniem pola magnetycznego w celu osiągnięcia wydajnego wypełniania struktur przelotowych.

3. Przyjęcie struktury celu obrotowego

Taka struktura ogranicza straty materiału powłoki i poprawia wykorzystanie materiału docelowego. Skraca również cykl wymiany materiału docelowego, zwiększając tym samym wydajność produkcji.

4. Zalety kontroli procesów

Dzięki optymalizacji parametrów rozpylania magnetronowego i technologii dwustronnego osadzania synchronicznego znacznie poprawiono wydajność powlekania złożonych elementów konstrukcyjnych, a jednocześnie zmniejszono wskaźnik strat materiału.

Aplikacja:Umożliwia przygotowanie różnorodnych, jednoelementowych warstw metalowych, takich jak Ti, Cu, Al, Sn, Cr, Ag, Ni itp. Jest szeroko stosowany w półprzewodnikowych elementach elektronicznych, takich jak ceramiczne podłoża DPC, kondensatory ceramiczne, termistory, ceramiczne wsporniki LED itp.