ဖုန်စုပ်အပေါ်ယံလွှာပြုလုပ်ခြင်း လုပ်ငန်းစဉ်များတွင်၊အပ်ငွေနှုန်း သည် ထုတ်လုပ်မှုထိရောက်မှုနှင့် ဖလင်ဂုဏ်သတ္တိများ နှစ်မျိုးလုံးကို ဆုံးဖြတ်ပေးသည့် အဓိက ကန့်သတ်ချက်များထဲမှ တစ်ခုဖြစ်သည်။ သို့သော်၊ အနည်ကျမှုနှုန်း မြင့်မားခြင်း သို့မဟုတ် နိမ့်ကျခြင်းသည် ဖလင်အရည်အသွေးကို တိုက်ရိုက်အကျိုးသက်ရောက်စေပြီး ၎င်း၏ အလင်း၊ လျှပ်စစ်နှင့် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ စွမ်းဆောင်ရည်ကို ထိခိုက်စေနိုင်သည်။ အနည်ကျမှုနှုန်းနှင့် အရည်အသွေးကြား မှန်ကန်သော ဟန်ချက်ညီမှုကို ရှာဖွေခြင်းသည် ဖလင်ပါးလွှာသော လုပ်ငန်းစဉ် အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင် လုပ်ဆောင်ရန်အတွက် အလွန်အရေးကြီးပါသည်။
I. ထုတ်ယူမှုနှုန်း၏ အခြေခံသဘောတရား
အလွှာမျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် တစ်ယူနစ်အချိန်အတွင်း စုပုံနေသော ဖလင်အထူကို ကိုယ်စားပြုသည့် အနည်ကျနှုန်းကို nm/s သို့မဟုတ် Å/s ဖြင့် ဖော်ပြလေ့ရှိသည်။ ၎င်းတွင် အောက်ပါတို့ အပါအဝင် အချက်များစွာက လွှမ်းမိုးမှုရှိသည်။
လေဟာနယ်အဆင့်- နောက်ခံဖိအားမြင့်မားခြင်းသည် အမှုန်အမွှားများ ပြန့်ကျဲခြင်းကို ဖြစ်ပေါ်စေပြီး ထိရောက်သော စုပုံမှုနှုန်းကို လျော့ကျစေသည်။
စွမ်းအင်ထည့်သွင်းမှု- စပန့်တာပစ်မှတ်၏ အငွေ့ပျံရင်းမြစ် သို့မဟုတ် ထုတ်လွှတ်လျှပ်စီးကြောင်း၏ အပူပေးစွမ်းအားသည် စပန့်တာ/အငွေ့ပျံနှုန်းကို ညွှန်ကြားပေးသည်။
လုပ်ငန်းစဉ်ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှု- reactive sputtering တွင်၊ ဓာတ်ငွေ့ပါဝင်မှုသည် deposition rate ကို တိုက်ရိုက်သက်ရောက်မှုရှိသည်။
II. အနည်ကျနှုန်းနှင့် ဖလင်အရည်အသွေးကို ဆက်စပ်ပေးသည့် ယန္တရားများ
အလွန်အကျွံ မြင့်မားသော အနည်ကျမှုနှုန်း၏ အကျိုးသက်ရောက်မှုများ
ဖလင်သိပ်သည်းဆနည်းခြင်း- မြင့်မားသောနှုန်းထားများဖြင့် မျက်နှာပြင်ပျံ့နှံ့ချိန် အကန့်အသတ်ရှိခြင်းကြောင့် အပေါက်များသောဖွဲ့စည်းပုံများကို ဖြစ်ပေါ်စေပါသည်။
ဖိစီးမှုနှင့် ကပ်ငြိမှုပြဿနာများ- အလျင်အမြန်စုပုံလာခြင်းသည် အတွင်းပိုင်းဖိစီးမှုကို တိုးစေပြီး ကပ်ငြိမှုကို အားနည်းစေသည်။
အလင်းပြောင်းလဲမှု- အထူတိကျမှု လျော့နည်းလာခြင်းကြောင့် အလင်းယိုင်ညွှန်းကိန်း သို့မဟုတ် အလင်းဝင်ပေါက်တွင် သွေဖည်မှုများ ဖြစ်ပေါ်စေသည်။
အလွန်အကျွံ နည်းပါးသော အနည်ကျမှုနှုန်း၏ အကျိုးသက်ရောက်မှုများ
ထုတ်လုပ်မှုနည်းပါးခြင်း- ဧရိယာကျယ်သော အောက်ခံများအတွက် လည်ပတ်ချိန်ပိုရှည်ခြင်းသည် ထုတ်လုပ်မှုပမာဏကို လျော့ကျစေသည်။
ညစ်ညမ်းမှုအန္တရာယ်- ကြာရှည်စွာစုပုံခြင်းသည် ကျန်ရှိနေသောဓာတ်ငွေ့ သို့မဟုတ် မသန့်စင်မှုများပါဝင်နိုင်ခြေကို တိုးစေသည်။
ပုံမှန်မဟုတ်သော အမှုန်အမွှားများ ကြီးထွားမှု- အချို့သောပစ္စည်းများတွင်၊ အလွန်အမင်းနှေးကွေးသော အနည်ကျမှုသည် မျက်နှာပြင် အလွန်အကျွံ ကြမ်းတမ်းခြင်း သို့မဟုတ် ကြမ်းတမ်းသော အမှုန်အမွှားများကို ဖြစ်ပေါ်စေပါသည်။
အကောင်းဆုံး ထုတ်ယူမှု ပြတင်းပေါက်
အသင့်အတင့် အနည်ကျနှုန်းသည် ဖလင်သိပ်သည်းဆ၊ ဖိအားထိန်းချုပ်မှုနှင့် အထူတူညီမှုတို့အကြား ဟန်ချက်ညီမှုကို သေချာစေသည်။
လက်တွေ့တွင်၊ တိကျသောနှုန်းထားထိန်းချုပ်ရန်အတွက် နှုန်းထားချိန်ညှိခြင်းနှင့် Quartz Crystal Monitoring (QCM) တို့ကို ကျယ်ကျယ်ပြန့်ပြန့်အသုံးပြုကြသည်။
III. ကွဲပြားသော ထုတ်ယူမှုနည်းစနစ်များတွင် နှုန်းထိန်းချုပ်မှု
အပူအငွေ့ပျံခြင်း- အလွန်အကျွံနှုန်းသည် တံတွေးထွေးခြင်းနှင့် အမှုန်အမွှားများ ချို့ယွင်းချက်များ ဖြစ်စေနိုင်သည်။ အငွေ့ပျံခြင်းကို တည်ငြိမ်စေရန် အဆင့်ဆင့်အပူပေးစနစ်ကို အသုံးပြုသည်။
မဂ္ဂနက်ထရွန် စပွတ်တာရင်း- နှုန်းကို ပစ်မှတ်ပါဝါနှင့် လုပ်ငန်းစဉ်ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုတို့က လွှမ်းမိုးထားသည်။ အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင်ပြုလုပ်ခြင်းသည် ပစ်မှတ်အသုံးပြုမှုထိရောက်မှုနှင့် ဖလင်တစ်ပြေးညီဖြစ်မှုကို ဟန်ချက်ညီစေရမည်။
ဓာတ်ပြုမှုဖြင့် ဖြန်းထုတ်ခြင်း- စုပုံမှုနှုန်းသည် ပစ်မှတ်အဆိပ်သင့်ခြင်းကြောင့် ပြင်းထန်စွာ သက်ရောက်မှုရှိသောကြောင့် closed-loop plasma/gas flow control လိုအပ်ပါသည်။
IV. စက်မှုလုပ်ငန်းဆိုင်ရာ အလေ့အကျင့်များ
optical coatings များတွင်၊ rate control သည် refractive index accuracy နှင့် interference color consistency နှင့် တိုက်ရိုက်ဆက်စပ်နေသည်။
တစ်ပိုင်းလျှပ်ကာအပါးဖလင်များတွင် အလွန်အကျွံနှုန်းထားသည် ဖလင်ခုခံမှုကို ပြောင်းလဲစေပြီး စက်ပစ္စည်းစွမ်းဆောင်ရည်ကို ကျဆင်းစေနိုင်သည်။
အလှဆင်အပေါ်ယံလွှာများတွင် တစ်ပြေးညီဖြစ်မှုကို ထိန်းသိမ်းထားပါက ဧရိယာကျယ်ကျယ်ပြန့်ပြန့် ထုတ်လုပ်နိုင်စွမ်းကို အမြင့်ဆုံးရရှိစေရန်အတွက် မြင့်မားသောနှုန်းထားများကို ဦးစားပေးပါသည်။
အနည်ကျနှုန်းနှင့် ဖလင်အရည်အသွေးကြား ဆက်နွယ်မှုသည် နီးကပ်စွာ ဆက်စပ်နေသည်- နှုန်းမြင့်မားလွန်းခြင်းသည် သိပ်သည်းဆနှင့် ကပ်ငြိမှုကို ထိခိုက်စေပြီး နှုန်းနိမ့်လွန်းခြင်းသည် ထုတ်လုပ်မှုစွမ်းအားကို လျော့ကျစေပြီး ညစ်ညမ်းမှုအန္တရာယ်များကို တိုးစေသည်။ တိကျသော အနည်ကျနှုန်းထိန်းချုပ်မှုနှင့် လုပ်ငန်းစဉ်အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင်ပြုလုပ်ခြင်းဖြင့်သာ ထုတ်လုပ်သူများသည် ထိရောက်မှုနှင့် အရည်အသွေးကြား အကောင်းဆုံးဟန်ချက်ညီမှုကို ရရှိနိုင်ပြီး အလင်း၊ အီလက်ထရွန်းနစ်နှင့် အလှဆင်အသုံးချမှုများ၏ လိုအပ်ချက်များကို ဖြည့်ဆည်းပေးနိုင်ပါသည်။
- ဤဆောင်းပါးကို ထုတ်ဝေသူဖုန်စုပ်အပေါ်ယံလွှာပစ္စည်းကိရိယာများထုတ်လုပ်သူ Zhenhua ဖုန်စုပ်စက်
ပို့စ်တင်ချိန်: ၂၀၂၆ ခုနှစ်၊ ဖေဖော်ဝါရီလ ၄ ရက်
