د خلا د پوښښ په پروسو کې،د زیرمې کچه دا یو له هغو مهمو پیرامیټرو څخه دی چې د تولید موثریت او د فلم ځانګړتیاوې دواړه ټاکي. په هرصورت، ډیر لوړ یا ټیټ زیرمه کیدنه کولی شي په مستقیم ډول د فلم کیفیت اغیزه وکړي، په دې توګه د هغې نظری، بریښنایی او میخانیکي فعالیت اغیزمن کوي. د زیرمه کیدنې نرخ او کیفیت ترمنځ سم توازن ساتل د پتلي فلم پروسې اصلاح لپاره خورا مهم دي.
I. د زیرمو د نرخ اساسي مفهوم
د زیرمو کچه معمولا په nm/s یا Å/s کې ښودل کیږي، چې د سبسټریټ سطحې په هر واحد وخت کې د فلم ضخامت استازیتوب کوي. دا د ډیری فکتورونو لخوا اغیزمن کیږي، په شمول:
د خلا کچه: د شاليد لوړ فشار د ذراتو د خپرېدو لامل کېږي، چې د اغېزمن جمع کېدو کچه کموي.
د انرژۍ داخلول: د تبخیر سرچینې د تودوخې ځواک یا د سپټرینګ هدف د خارجیدو جریان د سپټرینګ / تبخیر کچه ټاکي.
د ګازو جریان پروسس کړئ: په غبرګوني سپټرینګ کې، د ګازو غلظت په مستقیم ډول د زیرمو کچه اغیزه کوي.
II. د زیرمو کچه او د فلم کیفیت سره د نښلولو میکانیزمونه
د ډېرې لوړې زیرمې کچې اغیزې
د فلم ټیټ کثافت: په لوړه کچه د سطحې محدود خپریدو وخت د سوري جوړښتونو پایله لري.
د فشار او چپکېدو ستونزې: په چټکۍ سره راټولېدل داخلي فشار زیاتوي او چپکېدل کمزوري کوي.
نظري تغیر: د ضخامت کموالی دقت د انعکاس شاخص یا لیږد کې د انحراف لامل کیږي.
د ډېر ټیټ زیرمو د کچې اغیزې
ټیټ تولید: د لویو ساحو د سبسټریټ لپاره اوږد دوره وختونه د تولید کچه کموي.
د ککړتیا خطر: د اوږدې مودې لپاره زیرمه کول د پاتې ګاز یا ناپاکۍ د یوځای کیدو احتمال زیاتوي.
د غلو غیر معمولي وده: په ځینو موادو کې، ډیر ورو جمع کول د سطحې ډیر ناهموار یا غټ غله جات هڅوي.
د غوره زیرمه کولو کړکۍ
د جمع کولو منځنۍ کچه د فلم کثافت، د فشار کنټرول، او ضخامت یووالي ترمنځ توازن تضمینوي.
په عمل کې، د نرخ کیلیبریشن او کوارټز کرسټال څارنه (QCM) په پراخه کچه د دقیق نرخ کنټرول لپاره کارول کیږي.
III. د مختلفو زیرمو تخنیکونو کې د نرخ کنټرول
حرارتي تبخیر: ډیر سرعت ممکن د تویولو او ذراتو نیمګړتیاوې رامینځته کړي؛ د تبخیر د ثبات لپاره ګام په ګام تودوخه کارول کیږي.
د مقناطیسي سپټرینګ: کچه د هدف بریښنا او پروسس ګاز جریان لخوا اغیزمن کیږي؛ اصلاح کول باید د هدف کارولو موثریت او د فلم یووالي توازن کړي.
د غبرګون وړ سپټرینګ: د زیرمو کچه د هدف زهرجن کیدو له امله په کلکه اغیزمنه کیږي، چې د تړل شوي لوپ پلازما/ګاز جریان کنټرول ته اړتیا لري.
IV. صنعتي کړنې
په آپټیکل کوټینګونو کې، د نرخ کنټرول په مستقیم ډول د انعکاس شاخص دقت او د مداخلې رنګ ثبات سره تړاو لري.
په نیمه نیمه پتلو فلمونو کې، ډیر سرعت کولی شي د فلم مقاومت بدل کړي، د وسیلې فعالیت خراب کړي.
په زینتي پوښونو کې، د لویې ساحې د تولید اعظمي کولو لپاره لوړ نرخونه غوره ګڼل کیږي، په دې شرط چې یووالي وساتل شي.
د زیرمه کولو کچه او د فلم کیفیت ترمنځ اړیکه په کلکه تړلې ده: ډیر لوړ نرخ کثافت او چپکتیا له منځه وړي، پداسې حال کې چې ډیر ټیټ نرخ تولید کموي او د ککړتیا خطرونه زیاتوي. یوازې د دقیق زیرمه کولو کچه کنټرول او د پروسې اصلاح کولو له لارې تولید کونکي کولی شي د موثریت او کیفیت ترمنځ غوره توازن ترلاسه کړي، د نظري، بریښنایی او آرائشی غوښتنلیکونو غوښتنې پوره کړي.
— دا مقاله د لخوا خپره شوې دهد ویکیوم کوټینګ تجهیزاتجوړونکی ژنهوا ویکیوم
د پوسټ وخت: فبروري-۰۴-۲۰۲۶