Вакуум бүрэх процесст,хуримтлалын түвшин нь үйлдвэрлэлийн үр ашиг болон хальсны шинж чанарыг тодорхойлдог гол үзүүлэлтүүдийн нэг юм. Гэсэн хэдий ч хэт өндөр эсвэл бага тунадасны хурд нь хальсны чанарт шууд нөлөөлж, улмаар түүний оптик, цахилгаан болон механик гүйцэтгэлд нөлөөлдөг. Нимгэн хальсны процессыг оновчтой болгохын тулд тунадасны хурд болон чанарын хооронд зөв тэнцвэрийг олох нь чухал юм.
I. Тунадалтын хурдны үндсэн ойлголт
Тунадасны хурдыг ерөнхийдөө nm/s эсвэл Å/s-ээр илэрхийлдэг бөгөөд энэ нь субстратын гадаргуу дээр нэгж хугацаанд хуримтлагдсан хальсны зузааныг илэрхийлдэг. Үүнд дараах олон хүчин зүйл нөлөөлдөг:
Вакуум түвшин: Илүү өндөр суурь даралт нь бөөмсийн тархалтад хүргэдэг бөгөөд энэ нь үр дүнтэй тунадасны хурдыг бууруулдаг.
Эрчим хүчний оролт: Ууршилтын эх үүсвэрийн халаалтын чадал эсвэл цацалтын байны цэнэг алдалтын гүйдэл нь цацалт/ууршилтын хурдыг тодорхойлно.
Процессын хийн урсгал: Реактив цацалтын үед хийн агууламж нь тунадасны хурдад шууд нөлөөлдөг.
II. Тунадасны хурд болон хальсны чанарыг холбосон механизмууд
Хэт өндөр тунадасны хурдны нөлөө
Бага нягтралтай хальс: Өндөр хурдтай үед гадаргуугийн тархалтын хугацаа хязгаарлагдмал байх нь сүвэрхэг бүтэц үүсгэдэг.
Стресс ба наалдацын асуудлууд: Хурдан хуримтлал нь дотоод стрессийг нэмэгдүүлж, наалдацыг сулруулдаг.
Оптик хувьсах чанар: Зузаан нарийвчлал буурах нь хугарлын индекс эсвэл гэрлийн дамжуулалтын хазайлтыг үүсгэдэг.
Хэт бага тунадасны хурдны нөлөө
Бага бүтээмж: Том талбайтай субстратын хувьд мөчлөгийн хугацаа уртсах нь бүтээмжийг бууруулдаг.
Бохирдлын эрсдэл: Удаан хугацаанд тунадасжих нь үлдэгдэл хий эсвэл хольцын нэгдэх магадлалыг нэмэгдүүлдэг.
Хэвийн бус үр тарианы өсөлт: Зарим материалд хэт удаан тунадасжилт нь гадаргуугийн хэт барзгаржилт эсвэл бүдүүн ширхэгт хүргэдэг.
Хамгийн оновчтой тунадасжуулалтын цонх
Дунд зэргийн тунадасны хурд нь хальсны нягтрал, стрессийн хяналт болон зузааны жигд байдлын хоорондын тэнцвэрийг хангадаг.
Практикт хурдны тохируулга болон кварцын талстын хяналт (QCM)-ийг нарийвчлалтай хурдны хяналтад өргөн ашигладаг.
III. Төрөл бүрийн хуримтлалын техник дэх хурдны хяналт
Дулааны ууршилт: Хэт их хурд нь нулималт болон тоосонцорын гажиг үүсгэж болзошгүй; ууршилтыг тогтворжуулахын тулд шаталсан халаалтыг ашигладаг.
Соронзон цацалт: Хурд нь байны хүч болон боловсруулалтын хийн урсгалаас хамаардаг; оновчлол нь байны ашиглалтын үр ашиг болон хальсны жигд байдлыг тэнцвэржүүлэх ёстой.
Урвалттай цацалт: Тунадасны хурд нь байны хордлогоос хүчтэй хамаардаг тул плазм/хийн урсгалын хаалттай хяналтыг шаарддаг.
IV. Үйлдвэрлэлийн практик
Оптик бүрхүүлд хурдны хяналт нь хугарлын индексийн нарийвчлал болон хөндлөнгийн өнгөний тогтвортой байдалтай шууд холбоотой.
Хагас дамжуулагч нимгэн хальсан дээр хэт өндөр хурд нь хальсны эсэргүүцлийг өөрчилж, төхөөрөмжийн ажиллагааг муутгадаг.
Гоёл чимэглэлийн бүрхүүлд жигд байдлыг хадгалсан тохиолдолд том талбайн бүтээмжийг хамгийн их байлгахын тулд илүү өндөр хурдыг илүүд үздэг.
Тунадасжилтын хурд болон хальсны чанарын хоорондын хамаарал нь нягт холбоотой: хэт өндөр хурд нь нягтрал болон наалдацыг бууруулдаг бол хэт бага хурд нь бүтээмжийг бууруулж, бохирдлын эрсдлийг нэмэгдүүлдэг. Зөвхөн тунадасжилтын хурдыг нарийн хянах, үйл явцыг оновчтой болгох замаар үйлдвэрлэгчид оптик, электрон болон гоёл чимэглэлийн хэрэглээний шаардлагыг хангаж, үр ашиг ба чанарын хоорондын оновчтой тэнцвэрт байдалд хүрч чадна.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх тоног төхөөрөмжүйлдвэрлэгч Zhenhua тоос сорогч
Нийтэлсэн цаг: 2026 оны 2-р сарын 4