படிவு விகிதத்திற்கும் படச்சுருளின் தரத்திற்கும் இடையிலான தொடர்பு

வெற்றிட பூச்சு செயல்முறைகளில்,படிவு விகிதம் உற்பத்தித் திறன் மற்றும் படலப் பண்புகள் ஆகிய இரண்டையும் தீர்மானிக்கும் முக்கிய அளவுருக்களில் இதுவும் ஒன்றாகும். இருப்பினும், மிக அதிகமான அல்லது மிகக் குறைவான படிவு விகிதங்கள் படலத்தின் தரத்தை நேரடியாகப் பாதிக்கக்கூடும், அதன் மூலம் அதன் ஒளியியல், மின்சார மற்றும் இயந்திர செயல்திறனையும் பாதிக்கும். மென்படலச் செயல்முறை உகப்பாக்கத்திற்கு, படிவு விகிதத்திற்கும் தரத்திற்கும் இடையே சரியான சமநிலையை ஏற்படுத்துவது மிகவும் அவசியமாகும்.

I. படிவு வீதத்தின் அடிப்படைக் கருத்து

படிவு வீதம் பொதுவாக nm/s அல்லது Å/s இல் வெளிப்படுத்தப்படுகிறது, இது அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் ஒரு அலகு நேரத்தில் படியும் படலத்தின் தடிமனைக் குறிக்கிறது. இது பின்வரும் பல காரணிகளால் பாதிக்கப்படுகிறது:

வெற்றிட நிலை: அதிகமான பின்னணி அழுத்தம் துகள்கள் சிதறுவதற்கு வழிவகுத்து, பயனுள்ள படிவு வீதத்தைக் குறைக்கிறது.

ஆற்றல் உள்ளீடு: ஆவியாதல் மூலத்தின் வெப்பமூட்டும் திறன் அல்லது சிதறல் இலக்கின் வெளியேற்ற மின்னோட்டம் ஆகியவை சிதறல்/ஆவியாதல் வீதத்தைத் தீர்மானிக்கின்றன.

செயல்முறை வாயு ஓட்டம்: வினைபுரியும் ஸ்பட்டரிங்கில், வாயுச் செறிவு படிவு வீதத்தை நேரடியாகப் பாதிக்கிறது.

II. படிவு வீதம் மற்றும் படலத் தரத்தை இணைக்கும் வழிமுறைகள்
அதிகப்படியான படிவு விகிதத்தின் விளைவுகள்

குறைந்த படல அடர்த்தி: அதிக வேகத்தில் மேற்பரப்பு பரவலுக்குக் கிடைக்கும் குறைந்த நேரமே நுண்துளைகளுடைய கட்டமைப்புகளுக்கு வழிவகுக்கிறது.

அழுத்தம் மற்றும் ஒட்டுதல் பிரச்சனைகள்: விரைவான திரட்சி உள்ளார்ந்த அழுத்தத்தை அதிகரித்து, ஒட்டுதலை பலவீனப்படுத்துகிறது.

ஒளியியல் மாறுபாடு: தடிமன் துல்லியம் குறைவதால், ஒளிவிலகல் குறியீடு அல்லது ஊடுருவலில் விலகல்கள் ஏற்படுகின்றன.

மிகக் குறைந்த படிவு விகிதத்தின் விளைவுகள்

குறைந்த உற்பத்தித்திறன்: பெரிய பரப்பளவுள்ள தளப்பொருட்களுக்கான நீண்ட சுழற்சி நேரங்கள், செயல் வெளியீட்டைக் குறைக்கின்றன.

மாசுபடும் அபாயம்: நீடித்த படிவு, எஞ்சிய வாயு அல்லது அசுத்தங்கள் கலப்பதற்கான சாத்தியக்கூறை அதிகரிக்கிறது.

இயல்புக்கு மாறான தானிய வளர்ச்சி: சில பொருட்களில், மிகவும் மெதுவான படிவு, அதிகப்படியான மேற்பரப்பு சொரசொரப்பு அல்லது பெரிய தானியங்களை ஊக்குவிக்கிறது.

உகந்த வைப்பு சாளரம்

மிதமான படிவு விகிதமானது, படல அடர்த்தி, அழுத்தக் கட்டுப்பாடு மற்றும் தடிமன் சீரான தன்மை ஆகியவற்றுக்கு இடையே ஒரு சமநிலையை உறுதி செய்கிறது.
நடைமுறையில், துல்லியமான வீதக் கட்டுப்பாட்டிற்காக வீத அளவுத்திருத்தம் மற்றும் குவார்ட்ஸ் படிகக் கண்காணிப்பு (QCM) ஆகியவை பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

III. வெவ்வேறு படிவு நுட்பங்களில் வீதக் கட்டுப்பாடு

வெப்ப ஆவியாதல்: அதிகப்படியான வேகம் தெறிப்பு மற்றும் துகள் குறைபாடுகளை ஏற்படுத்தக்கூடும்; ஆவியாதலை நிலைப்படுத்த படிப்படியான வெப்பமூட்டல் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங்: இதன் வேகம், இலக்கு ஆற்றல் மற்றும் செயல்முறை வாயு ஓட்டத்தைப் பொறுத்து அமைகிறது; உகந்ததாக்குதலில், இலக்குப் பயன்பாட்டுத் திறனையும் படலச் சீரான தன்மையையும் சமநிலைப்படுத்த வேண்டும்.

வினைபுரியும் சிதறல்: இலக்கு நஞ்சாவதால் படிதல் வீதம் கடுமையாகப் பாதிக்கப்படுகிறது, எனவே மூடிய-சுற்று பிளாஸ்மா/வாயு ஓட்டக் கட்டுப்பாடு தேவைப்படுகிறது.

IV. தொழில்துறை நடைமுறைகள்

ஒளியியல் பூச்சுகளில், வீதக் கட்டுப்பாடு என்பது ஒளிவிலகல் குறியீட்டுத் துல்லியம் மற்றும் குறுக்கீட்டு வண்ண நிலைத்தன்மையுடன் நேரடியாகத் தொடர்புடையது.

குறைக்கடத்தி மென்படலங்களில், அதிகப்படியான வீதம் படலத்தின் மின்தடையை மாற்றி, சாதனத்தின் செயல்திறனைக் குறைக்கும்.

அலங்காரப் பூச்சுகளில், சீரான தன்மை பேணப்படும் பட்சத்தில், பெரிய பரப்பளவு உற்பத்தித்திறனை அதிகபட்சமாக்க உயர் விகிதங்கள் விரும்பப்படுகின்றன.

படிவு வீதத்திற்கும் படலத்தின் தரத்திற்கும் இடையிலான தொடர்பு மிகவும் நெருக்கமாகப் பிணைக்கப்பட்டுள்ளது: மிக அதிக வீதம் அடர்த்தியையும் ஒட்டுதலையும் பாதிக்கிறது, அதே சமயம் மிகக் குறைந்த வீதம் உற்பத்தித்திறனைக் குறைத்து, மாசுபடும் அபாயங்களை அதிகரிக்கிறது. துல்லியமான படிவு வீதக் கட்டுப்பாடு மற்றும் செயல்முறை உகப்பாக்கம் மூலமாக மட்டுமே, உற்பத்தியாளர்கள் செயல்திறன் மற்றும் தரத்திற்கு இடையே ஒரு உகந்த சமநிலையை அடைந்து, ஒளியியல், மின்னணுவியல் மற்றும் அலங்காரப் பயன்பாடுகளின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய முடியும்.

—இந்தக் கட்டுரை வெளியிடப்பட்டதுவெற்றிட பூச்சு உபகரணங்கள்உற்பத்தியாளர் ஜென்ஹுவா வேக்யூம்