Hauv cov txheej txheem nqus tsev vacuum, covtus nqi tso tawm yog ib qho ntawm cov yam tseem ceeb uas txiav txim siab txog kev ua haujlwm zoo thiab cov khoom ntawm zaj duab xis. Txawm li cas los xij, qhov siab dhau lossis qis dhau ntawm cov nqi tso tawm tuaj yeem cuam tshuam ncaj qha rau qhov zoo ntawm zaj duab xis, yog li cuam tshuam rau nws qhov kev ua tau zoo ntawm qhov muag, hluav taws xob, thiab kev siv tshuab. Kev nrhiav qhov sib npaug ntawm qhov nqi tso tawm thiab qhov zoo yog qhov tseem ceeb rau kev ua kom zoo dua ntawm cov txheej txheem zaj duab xis nyias.
I. Lub Tswv Yim Tseem Ceeb ntawm Kev Tso Nyiaj
Feem ntau, tus nqi tso tawm yog qhia hauv nm/s lossis Å/s, uas sawv cev rau qhov tuab ntawm zaj duab xis uas tso rau ib lub sijhawm ntawm qhov chaw ntawm lub substrate. Nws raug cuam tshuam los ntawm ntau yam, suav nrog:
Qib Nqus Tsev: Qhov siab dua ntawm keeb kwm yav dhau los ua rau cov khoom tawg, txo qhov nrawm ntawm kev tso tawm.
Lub zog nkag: Lub zog cua sov ntawm qhov chaw evaporation lossis tam sim no tawm ntawm lub hom phiaj sputtering dictates lub sputtering / evaporation rate.
Cov Txheej Txheem Roj Ntws: Hauv kev sib xyaw ua ke, cov roj concentration ncaj qha cuam tshuam rau qhov nqi tso tawm.
II. Cov txheej txheem txuas qhov nrawm ntawm kev tso tawm thiab qhov zoo ntawm zaj duab xis
Cov teebmeem ntawm Kev Tso Tawm Siab Dhau
Qhov Ceev Ntawm Zaj Duab Xis Qis: Lub sijhawm luv luv ntawm qhov chaw sib kis ntawm cov nqi siab ua rau muaj cov qauv porous.
Kev Nyuaj Siab & Kev Sib Txuas: Kev sib sau ua ke sai ua rau muaj kev ntxhov siab ntxiv thiab ua rau kev sib txuas tsis muaj zog.
Kev Hloov Pauv ntawm Qhov Muag: Qhov tuab tsawg dua ua rau muaj kev hloov pauv ntawm cov ntsuas refractive lossis transmittance.
Cov teebmeem ntawm qhov nqi tso tawm qis dhau heev
Kev Tsim Khoom Tsawg: Lub sijhawm voj voog ntev dua rau cov khoom siv loj hauv thaj chaw ua rau txo qis kev ua haujlwm.
Kev Pheej Hmoo Txog Kev Ua Kuab Lom: Kev tso dej ntev ntev ua rau muaj feem ntau ntawm cov pa roj lossis cov khoom tsis huv uas seem.
Kev Loj Hlob Tsis Zoo Li Qub: Hauv qee cov ntaub ntawv, kev tso qeeb dhau ua rau qhov chaw ntxhib lossis cov noob ntxhib ntau dhau.
Qhov Rai Tso Tawm Zoo Tshaj Plaws
Tus nqi tso dej nruab nrab ua kom muaj kev sib npaug ntawm cov zaj duab xis ceev, kev tswj kev ntxhov siab, thiab kev sib npaug ntawm cov tuab.
Hauv kev xyaum ua, kev ntsuas tus nqi thiab Quartz Crystal Monitoring (QCM) yog siv dav rau kev tswj tus nqi kom raug.
III. Kev Tswj Tus Nqi Hauv Cov Txheej Txheem Tso Tawm Sib Txawv
Kev Ua Pa Kub: Kev nrawm dhau heev yuav ua rau muaj kev ntuav thiab cov khoom me me; kev ua kom sov ib kauj ruam yog siv los tswj kev ua pa.
Magnetron Sputtering: Tus nqi raug cuam tshuam los ntawm lub zog ntawm lub hom phiaj thiab cov txheej txheem roj ntws; kev ua kom zoo dua yuav tsum sib npaug ntawm kev siv lub hom phiaj thiab kev sib npaug ntawm zaj duab xis.
Reactive Sputtering: Tus nqi tso tawm raug cuam tshuam los ntawm kev lom neeg, xav tau kev tswj hwm cov plasma / roj kaw.
IV. Kev Ua Haujlwm Hauv Kev Lag Luam
Hauv cov txheej txheem kho qhov muag, kev tswj tus nqi yog txuas ncaj qha rau qhov tseeb ntawm cov ntsuas refractive thiab kev cuam tshuam xim sib xws.
Hauv cov yeeb yaj kiab nyias nyias semiconductor, qhov nrawm ntau dhau tuaj yeem hloov pauv qhov tsis kam ntawm zaj duab xis, ua rau lub cuab yeej ua haujlwm tsis zoo.
Hauv cov txheej txheem kho kom zoo nkauj, cov nqi siab dua yog qhov zoo dua los ua kom muaj txiaj ntsig zoo tshaj plaws hauv thaj chaw loj, yog tias muaj kev sib xws.
Qhov kev sib raug zoo ntawm qhov ceev ntawm kev tso cov zaj duab xis thiab qhov zoo ntawm zaj duab xis yog sib txuas zoo heev: qhov ceev ntau dhau ua rau qhov ceev thiab kev nplaum tsis zoo, thaum qhov ceev tsawg dhau ua rau txo qis kev tsim khoom thiab ua rau muaj kev pheej hmoo ntawm kev ua qias tuaj. Tsuas yog los ntawm kev tswj qhov ceev ntawm kev tso cov zaj duab xis thiab kev ua kom zoo dua qub xwb thiaj li ua rau cov tuam txhab tsim khoom ua tiav qhov sib npaug zoo tshaj plaws ntawm kev ua haujlwm zoo thiab qhov zoo, ua tau raws li qhov xav tau ntawm kev siv kho qhov muag, hluav taws xob, thiab kev siv kho kom zoo nkauj.
— Tsab xov xwm no tau luam tawm los ntawmcov khoom siv nqus tsev txheejChaw tsim khoom Zhenhua Lub Tshuab Nqus Tsev
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Ob Hlis-04-2026