جمع ڪرڻ جي شرح ۽ فلم جي معيار جي وچ ۾ تعلق

ويڪيوم ڪوٽنگ جي عملن ۾،جمع ڪرڻ جي شرح پيداوار جي ڪارڪردگي ۽ فلم جي خاصيتن ٻنهي کي طئي ڪرڻ واري اهم پيرا ميٽرز مان هڪ آهي. جڏهن ته، تمام گهڻي يا گهٽ جمع ڪرڻ جي شرح سڌو سنئون فلم جي معيار تي اثر انداز ٿي سگهي ٿي، ان ڪري ان جي آپٽيڪل، برقي ۽ ميڪيڪل ڪارڪردگي کي متاثر ڪري سگهي ٿي. جمع ڪرڻ جي شرح ۽ معيار جي وچ ۾ صحيح توازن قائم ڪرڻ پتلي فلم جي عمل جي اصلاح لاءِ اهم آهي.

I. جمع جي شرح جو بنيادي تصور

جمع ڪرڻ جي شرح عام طور تي nm/s يا Å/s ۾ ظاهر ڪئي ويندي آهي، جيڪا سبسٽريٽ مٿاڇري تي في يونٽ وقت جمع ٿيل فلم جي ٿولهه جي نمائندگي ڪري ٿي. اهو ڪيترن ئي عنصرن کان متاثر ٿئي ٿو، جن ۾ شامل آهن:

ويڪيوم ليول: وڌيڪ پس منظر جو دٻاءُ ذرڙن جي ٽٽڻ جو سبب بڻجي ٿو، جيڪو اثرائتي جمع ٿيڻ جي شرح کي گهٽائي ٿو.

توانائي ان پٽ: بخارات جي ذريعن جي حرارتي طاقت يا اسپٽرنگ ٽارگيٽ جي خارج ٿيڻ واري ڪرنٽ اسپٽرنگ/بخار جي شرح کي ترتيب ڏئي ٿي.

پروسيس گيس فلو: رد عمل واري اسپٽرنگ ۾، گيس جي ڪنسنٽريشن سڌو سنئون جمع ٿيڻ جي شرح تي اثر انداز ٿئي ٿي.

II. جمع ڪرڻ جي شرح ۽ فلم جي معيار کي ڳنڍڻ وارا طريقا
تمام گهڻي جمع جي شرح جا اثر

گھٽ فلم کثافت: اعليٰ شرحن تي محدود مٿاڇري جي پکيڙ جو وقت سوراخ واري بناوت ۾ نتيجو ڏئي ٿو.

دٻاءُ ۽ چپڪندڙ مسئلا: تيزي سان گڏجڻ اندروني دٻاءُ وڌائي ٿو ۽ چپڪندڙ کي ڪمزور ڪري ٿو.

بصري تبديلي: گھٽتائي جي درستگي ريفريڪٽو انڊيڪس يا ٽرانسميشن ۾ انحراف جو سبب بڻجي ٿي.

تمام گهٽ جمع جي شرح جا اثر

گھٽ پيداوار: وڏي ايراضي واري ذيلي ذخيري لاءِ ڊگهو چڪر وقت ٿرو پُٽ گھٽائي ٿو.

آلودگي جو خطرو: وڌايل جمع بقايا گئس يا نجاست جي شموليت جو امڪان وڌائي ٿو.

غير معمولي اناج جي واڌ: ڪجهه مواد ۾، تمام گهڻو سست جمع ٿيڻ سان مٿاڇري جي حد کان وڌيڪ خرابي يا ٿلها اناج پيدا ٿين ٿا.

بهترين جمع ڪرائڻ واري ونڊو

هڪ معتدل جمع ڪرڻ جي شرح فلم جي کثافت، دٻاءُ جي ڪنٽرول، ۽ ٿلهي جي هڪجهڙائي جي وچ ۾ توازن کي يقيني بڻائي ٿي.
عملي طور تي، شرح ڪيليبريشن ۽ ڪوارٽز ڪرسٽل مانيٽرنگ (QCM) وڏي پيماني تي صحيح شرح ڪنٽرول لاءِ استعمال ٿيندا آهن.

III. مختلف جمع ڪرڻ جي طريقن ۾ شرح ڪنٽرول

حرارتي بخارات: گهڻي شرح ٿڪڻ ۽ ذرات جي خرابين جو سبب بڻجي سگهي ٿي؛ بخارات کي مستحڪم ڪرڻ لاءِ قدم وار گرم ڪرڻ استعمال ڪيو ويندو آهي.

ميگنيٽرون اسپٽرنگ: شرح ٽارگيٽ پاور ۽ پروسيس گيس جي وهڪري کان متاثر ٿئي ٿي؛ اصلاح کي ٽارگيٽ استعمال جي ڪارڪردگي ۽ فلم جي هڪجهڙائي کي متوازن ڪرڻ گهرجي.

رد عمل واري اسپٽرنگ: ذخيري جي شرح ٽارگيٽ پوائزننگ کان سخت متاثر ٿئي ٿي، جنهن لاءِ بند لوپ پلازما/گيس جي وهڪري جي ڪنٽرول جي ضرورت آهي.

IV. صنعتي طريقا

آپٽيڪل ڪوٽنگز ۾، شرح ڪنٽرول سڌو سنئون ريفريڪٽو انڊيڪس جي درستگي ۽ مداخلت واري رنگ جي تسلسل سان ڳنڍيل آهي.

سيمي ڪنڊڪٽر پتلي فلمن ۾، گهڻي شرح فلم جي مزاحمت کي تبديل ڪري سگهي ٿي، ڊوائيس جي ڪارڪردگي کي گهٽائي سگهي ٿي.

آرائشي ڪوٽنگن ۾، وڏي علائقي جي پيداوار کي وڌائڻ لاءِ اعليٰ شرحن کي ترجيح ڏني ويندي آهي، بشرطيڪ هڪجهڙائي برقرار رکي وڃي.

جمع ڪرڻ جي شرح ۽ فلم جي معيار جي وچ ۾ تعلق مضبوطيءَ سان ڳنڍيل آهي: تمام گهڻي شرح کثافت ۽ چپکڻ کي متاثر ڪري ٿي، جڏهن ته تمام گهٽ شرح پيداوار کي گهٽائي ٿي ۽ آلودگي جا خطرا وڌائي ٿي. صرف صحيح جمع ڪرڻ جي شرح ڪنٽرول ۽ عمل جي اصلاح ذريعي ٺاهيندڙ ڪارڪردگي ۽ معيار جي وچ ۾ هڪ بهترين توازن حاصل ڪري سگهن ٿا، آپٽيڪل، اليڪٽرانڪ ۽ آرائشي ايپليڪيشنن جي مطالبن کي پورو ڪندي.

—هي مضمون شايع ڪيو ويو آهي پارانويڪيوم ڪوٽنگ جو سامانٺاهيندڙ زينهوا ويڪيوم