Ubale Pakati pa Chiŵerengero cha Kugawa ndi Ubwino wa Mafilimu

Mu njira zophikira vacuum,kuchuluka kwa ndalama zomwe zaperekedwa ndi chimodzi mwa zinthu zofunika kwambiri zomwe zimatsimikizira momwe filimu imagwirira ntchito komanso momwe imagwirira ntchito. Komabe, kuchuluka kwa zinthu zomwe zimayikidwa kwambiri kapena zochepa kungakhudze mwachindunji ubwino wa filimu, motero kumakhudza magwiridwe antchito ake amagetsi, magetsi, ndi makina. Kupeza mulingo woyenera pakati pa kuchuluka kwa zinthu zomwe zimayikidwa ndi mtundu wake ndikofunikira kwambiri pakukonza bwino njira yopangira filimu yopyapyala.

I. Lingaliro Loyambira la Chiŵerengero cha Deposition

Chiŵerengero cha kutayika kwa mphamvu nthawi zambiri chimafotokozedwa mu nm/s kapena Å/s, zomwe zimayimira makulidwe a filimu omwe amaikidwa pa nthawi iliyonse pamwamba pa substrate. Zimakhudzidwa ndi zinthu zingapo, kuphatikizapo:

Mlingo wa Vacuum: Kupanikizika kwakukulu kwa kumbuyo kumabweretsa kufalikira kwa tinthu tating'onoting'ono, zomwe zimachepetsa kuchuluka kwa mpweya wotuluka.

Mphamvu Yolowera: Mphamvu yotenthetsera ya gwero la nthunzi kapena mphamvu yotulutsa madzi ya chinthu chotulutsira madzi imayang'anira kuchuluka kwa nthunzi/kutuluka kwa madzi.

Kuyenda kwa Mpweya: Mu kupopera kwa mpweya, kuchuluka kwa mpweya kumakhudza mwachindunji kuchuluka kwa mpweya womwe umayikidwa.

II. Njira Zogwirizanitsa Chiŵerengero cha Kugawa ndi Ubwino wa Mafilimu
Zotsatira za Kuchuluka Kwambiri kwa Deposition Rate

Kuchuluka kwa Mafilimu Ochepa: Nthawi yochepa yofalitsira pamwamba pa liwiro lalikulu imabweretsa mapangidwe okhala ndi mabowo.

Mavuto Okhudzana ndi Kupsinjika Maganizo ndi Kumamatira: Kusonkhanitsa mwachangu kumawonjezera kupsinjika kwamkati ndipo kumafooketsa kumamatira.

Kusinthasintha kwa Optical: Kutsika kwa makulidwe kumayambitsa kusintha kwa refractive index kapena transmittance.

Zotsatira za Kutsika Kwambiri kwa Deposition Rate

Kugwira Ntchito Kochepa: Kugwira ntchito nthawi yayitali kwa ma substrate akuluakulu kumachepetsa kuchuluka kwa ntchito.

Kuopsa kwa Kuipitsidwa: Kuchuluka kwa mpweya wotsalira kapena zinthu zodetsedwa kumawonjezera mwayi woti mpweya wotsala ulowe m'malo mwake.

Kukula kwa Tirigu Kosazolowereka: Mu zinthu zina, kuyika pang'onopang'ono kwambiri kumalimbikitsa kukhwima kwambiri pamwamba kapena tirigu wokhuthala.

Zenera Loyenera Kwambiri Loyika Malo

Kuchuluka kwa mafuta m'thupi kumatsimikizira kuti filimuyo ndi yofanana, yolamulira kupsinjika maganizo, komanso yofanana ndi makulidwe.
M'machitidwe, kuwerengera mitengo ndi Quartz Crystal Monitoring (QCM) zimagwiritsidwa ntchito kwambiri powongolera mitengo molondola.

III. Kuwongolera Mitengo mu Njira Zosiyanasiyana Zoperekera Ndalama

Kutentha Kwambiri: Kuchuluka kwa kutentha kungayambitse kufooka kwa malovu ndi tinthu tating'onoting'ono; kutentha pang'onopang'ono kumagwiritsidwa ntchito kukhazikika kwa kutentha.

Kutulutsa kwa Magnetron: Kuchuluka kwa magetsi kumakhudzidwa ndi mphamvu ya magetsi ndi kayendedwe ka mpweya; kukonza bwino magetsi kuyenera kulinganiza bwino momwe magetsi amagwiritsidwira ntchito komanso kufanana kwa filimu.

Kutulutsa madzi m'thupi modzidzimutsa: Kuchuluka kwa madzi m'thupi kumakhudzidwa kwambiri ndi poizoni woopsa, zomwe zimafuna kuwongolera kayendedwe ka madzi m'magazi/mpweya.

IV. Machitidwe a Mafakitale

Mu zophimba zowala, kuwongolera liwiro kumalumikizidwa mwachindunji ndi kulondola kwa chizindikiro cha refractive ndi kusinthasintha kwa mtundu.

Mu mafilimu opyapyala a semiconductor, kuchuluka kwambiri kwa mphamvu ya filimu kungasinthe mphamvu ya kukana kwa filimu, ndikuchepetsa magwiridwe antchito a chipangizocho.

Mu zophimba zokongoletsera, mitengo yokwera imakondedwa kuti pakhale zokolola zambiri m'dera lalikulu, bola ngati zikugwirizana.

Ubale pakati pa kuchuluka kwa zoikamo ndi khalidwe la filimu umagwirizana kwambiri: kuchuluka kwambiri kumawononga kuchulukana ndi kumamatira, pomwe kuchepa kwambiri kumachepetsa kupanga ndikuwonjezera zoopsa za kuipitsidwa. Pokhapokha powongolera molondola kuchuluka kwa zoikamo ndi kukonza bwino njira zomwe opanga amatha kupeza bwino pakati pa kuchita bwino ndi khalidwe, kukwaniritsa zofunikira za ntchito zamagetsi, zamagetsi, ndi zokongoletsera.

—Nkhaniyi yafalitsidwa ndizida zophikira zotsukirawopanga Zhenhua Vacuum